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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 403 6.16 4M-3 基座用真空泵的损耗品 请将 4M-3 基座真空泵的阀、垫片等的损 耗部件更换为维修保养套件的新部件 。 6.16.1 更换时期 机器每运转 10,000 小时 6.16.2 准备物品 维修保养套件 ( 图号 :H66817) 注意 )在 O 型圈上涂敷了润滑油。使用时请不要擦去润滑油。 01MEC-1341 No. 部件名称 数量 1…
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
402 NXT III 机械手册
8. 将工作头盖罩安装在外壳上。
a. 将工作头盖罩的接头插入到管内，把外壳的螺丝孔与工作头盖罩的孔对齐。
b. 将 4 根内六角螺栓 （M6×L30）用紧固转矩 9.31N·m 拧紧。（更换连接管时，请切
成与泵相同的长度进行更换。)
9. 插入连接管。（更换时，请切成与泵相同的长度进行更换。)
10.将泵横放，安装手柄和平板。
真空泵的安装
1. 请按照与拆除相反的步骤，将真空泵安装到基座上。
NXTBAS171-
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 403
6.16 4M-3 基座用真空泵的损耗品
请将 4M-3 基座真空泵的阀、垫片等的损耗部件更换为维修保养套件的新部件。
6.16.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.16.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H66817)
注意 )在 O 型圈上涂敷了润滑油。使用时请不要擦去润滑油。
01MEC-1341
No. 部件名称 数量
1盖垫 4
2阀A 4
3阀D 4
4阀盖 4
5 眼镜型密封圈 4
6 O 型密封圈 8
30MEC-0360a
1
2
4
5
3
6
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404 NXT III 机械手册
工具类
6.16.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态，将主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 拆除固定轨道的螺栓 (2 个 )，在不妨碍取出真空泵的状态下折弯轨道。然后拆除盖板
(2 块 )。
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 扳手
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用
纸废棉纱头 擦拭清扫用
防尘口罩 -
手套 -
油性笔 -
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切
断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚
停止后在泵的内部很热，有可能造成灼伤。
NXTBAS064Sa
3.3 Nm
3.92 Nm