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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0 404 NXT III 机械手册 工具类 6.16.3 更换方法 真空泵的拆除 1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态 ，将主开关 OFF。 2. 等待真空泵表面温度下降到室温。 3. 拆除固定轨道的螺栓 (2 个 )，在不妨碍取出真空泵的状态下折弯 轨道。然后拆除盖板 (2 块 )。 工具 六角扳手套件 - 转矩扳手 扳 手 十字螺丝刀 No.2 其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用 …
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 403
6.16 4M-3 基座用真空泵的损耗品
请将 4M-3 基座真空泵的阀、垫片等的损耗部件更换为维修保养套件的新部件。
6.16.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.16.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H66817)
注意 )在 O 型圈上涂敷了润滑油。使用时请不要擦去润滑油。
01MEC-1341
No. 部件名称 数量
1盖垫 4
2阀A 4
3阀D 4
4阀盖 4
5 眼镜型密封圈 4
6 O 型密封圈 8
30MEC-0360a
1
2
4
5
3
6
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
404 NXT III 机械手册
工具类
6.16.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态，将主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 拆除固定轨道的螺栓 (2 个 )，在不妨碍取出真空泵的状态下折弯轨道。然后拆除盖板
(2 块 )。
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 扳手
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用
纸废棉纱头 擦拭清扫用
防尘口罩 -
手套 -
油性笔 -
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切
断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚
停止后在泵的内部很热，有可能造成灼伤。
NXTBAS064Sa
3.3 Nm
3.92 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 405
4. 请拆除螺栓 (2 个 )，拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空
泵的地方。
5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。
6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。
01MEC-1316a
7.84 Nm
01MEC-1571a
3.92 Nm
12.74 Nm
01MEC-1315
W
VU
4.0 Nm
1.65 Nm