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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0 406 NXT III 机械手册 7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接 触的那样，用绝缘料带等保护请固 定。 8. 请从真空泵取下软管。 9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄，抬起真空 泵，从机器基座取出。 警告 请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬 起泵。有可能使腰 受伤。 01MEC-1318 01MEC-1319-b 12.74 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 405
4. 请拆除螺栓 (2 个 )，拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空
泵的地方。
5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。
6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。
01MEC-1316a
7.84 Nm
01MEC-1571a
3.92 Nm
12.74 Nm
01MEC-1315
W
VU
4.0 Nm
1.65 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
406 NXT III 机械手册
7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接触的那样，用绝缘料带等保护请固定。
8. 请从真空泵取下软管。
9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄，抬起真空泵，从机器基座取出。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
01MEC-1318
01MEC-1319-b
12.74 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 407
真空泵的分解
1. 用六角扳手拧松固定手柄的内六角螺栓 (M6×20)，拆除手柄和盖板。
2. 请预先竖起真空泵使更换的工作头处于上面。
3. 拆除工作头盖罩。
a. 请拆除固定工作头盖罩的 4 个内六角孔螺栓 (M6×45)。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后
会与空气一起进入体内。
30MEC-0364a
9.31 Nm
30MEC-0366
30MEC-0367a
9.31 Nm