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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 407 真空泵的分解 1. 用六角扳手拧松固定手柄的内六角螺栓 (M6×20)，拆除手柄和盖板。 2. 请预先竖起真空泵使更换的工作头处于上 面。 3. 拆除工作头盖罩。 a. 请拆除固定工作头盖罩的 4 个内六角孔螺栓 (M6×4 5)。 警告 在进行以下操作时，请带好防 尘口罩和手套。细微的尘屑在空气 中浮游后 会与空气一起进入体内。 30MEC-0364a…
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
406 NXT III 机械手册
7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接触的那样，用绝缘料带等保护请固定。
8. 请从真空泵取下软管。
9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄，抬起真空泵，从机器基座取出。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
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01MEC-1319-b
12.74 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 407
真空泵的分解
1. 用六角扳手拧松固定手柄的内六角螺栓 (M6×20)，拆除手柄和盖板。
2. 请预先竖起真空泵使更换的工作头处于上面。
3. 拆除工作头盖罩。
a. 请拆除固定工作头盖罩的 4 个内六角孔螺栓 (M6×45)。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后
会与空气一起进入体内。
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9.31 Nm
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9.31 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
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b. 同样，也请拆除另一侧的工作头盖罩的固定螺栓。
c. 请拆除与连接管在一起的工作头盖罩。
注意 )在拆除工作头盖罩时，请不要将汽缸一起拆除。汽缸内的元件有可能飞散。
d. 请从工作头盖罩上拔出 2 根连接管子。
e. 请拆除安装在连接管 (2 根 ) 上的 O 型圈 (4 个 )。
f. 请用吸取了工业用酒精的废棉纱头，擦拭、脱脂和清扫连接管的全体。请特别认真
地清扫 O 型圈的槽部。
4. 拆除气缸。
a. 请在拆除气缸前，在套管和气缸上标注。
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