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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0 414 NXT III 机械手册 6.17 4M-3B6 基座用真空泵的损耗品 请将 4M-3B6 基座真空泵的吸气阀、排气阀、垫片 等的损耗部件更换为维修保养套件 的新部 件。 6.17.1 更换时期 机器每运转 10,000 小时 6.17.2 准备物品 维修保养套件 ( 图号 :H5448D) 工具类 01MEC-1806 部件名称 数量 吸取阀干扰防止橡胶 4 吸 · 排气阀 1…
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 413
d. 请将头部盖板插入到盖套中。请用 4 根内六角螺栓 (M6×45) 以紧固转矩 9.31Nm 拧
紧。
注意 )请在对角用均等的力分数次拧紧螺栓。
e. 另一侧的头部也请用同样的方法固定头部盖板。
f. 请确认从旁边看时眼镜型密封圈变得看不见。
4. 请改变真空泵的朝向，用同样的方法更换相反侧工作头的元件。
5. 安装平板和手柄。
a. 请在将真空泵竖起的状态下，返还到原来的状态。
b. 请安装平板和手柄，用内六角螺栓 (M6×20) 固定。
真空泵的固定
1. 请按照与拆除相反的顺序在基座上安装真空泵。
2. 请以与拆除相反的顺序安装拆除的元件。
30MEC-0383a
9.31 Nm
30MEC-0364a
9.31 Nm
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
414 NXT III 机械手册
6.17 4M-3B6 基座用真空泵的损耗品
请将 4M-3B6 基座真空泵的吸气阀、排气阀、垫片等的损耗部件更换为维修保养套件的新部
件。
6.17.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.17.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H5448D)
工具类
01MEC-1806
部件名称 数量
吸取阀干扰防止橡胶 4
吸 · 排气阀 12
备用排气阀 4
盖垫 4
密封垫 4
吸取阀备份 4
连接管 1
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 扳手
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用酒精 擦拭清扫用
擦纸 擦拭清扫用
防尘口罩、手套、
油性笔
-
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NXT III 机械手册 415
6.17.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态，将主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 请拆除螺丝 (2 根 )，拆除盖板。
4. 请拆除螺栓 (2 个 )，拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空
泵的地方。
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切
断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚
停止后在泵的内部很热，有可能造成灼伤。
01MEC-1807
3.3 Nm
01MEC-1316a
7.84 Nm