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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 415 6.17.3 更换方法 真空泵的拆除 1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态 ，将主开关 OFF。 2. 等待真空泵表面温度下降到室温。 3. 请拆除螺丝 (2 根 )，拆除盖板。 4. 请拆除螺栓 (2 个 )，拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空 泵的地方。 警告 更换作业时，请注意没有另外的作 业者插入模组…
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
414 NXT III 机械手册
6.17 4M-3B6 基座用真空泵的损耗品
请将 4M-3B6 基座真空泵的吸气阀、排气阀、垫片等的损耗部件更换为维修保养套件的新部
件。
6.17.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.17.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H5448D)
工具类
01MEC-1806
部件名称 数量
吸取阀干扰防止橡胶 4
吸 · 排气阀 12
备用排气阀 4
盖垫 4
密封垫 4
吸取阀备份 4
连接管 1
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 扳手
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用酒精 擦拭清扫用
擦纸 擦拭清扫用
防尘口罩、手套、
油性笔
-
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 415
6.17.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态，将主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 请拆除螺丝 (2 根 )，拆除盖板。
4. 请拆除螺栓 (2 个 )，拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空
泵的地方。
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切
断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚
停止后在泵的内部很热，有可能造成灼伤。
01MEC-1807
3.3 Nm
01MEC-1316a
7.84 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
416 NXT III 机械手册
5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。
6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。
7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接触的那样，用绝缘料带等保护请固定。
8. 请从真空泵取下软管。
01MEC-1571a
3.92 Nm
12.74 Nm
01MEC-1315
W
VU
4.0 Nm
1.65 Nm
01MEC-1808