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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0 416 NXT III 机械手册 5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。 6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终端台拆 除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。 7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接 触的那样，用绝缘料带等保护请固 定。 8. 请从真空泵取下软管。 01MEC-1571a 3.92 Nm 12.74 Nm 01MEC-1315 W V U 4.0 Nm…
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 415
6.17.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态，将主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 请拆除螺丝 (2 根 )，拆除盖板。
4. 请拆除螺栓 (2 个 )，拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空
泵的地方。
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切
断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚
停止后在泵的内部很热，有可能造成灼伤。
01MEC-1807
3.3 Nm
01MEC-1316a
7.84 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
416 NXT III 机械手册
5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。
6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。
7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接触的那样，用绝缘料带等保护请固定。
8. 请从真空泵取下软管。
01MEC-1571a
3.92 Nm
12.74 Nm
01MEC-1315
W
VU
4.0 Nm
1.65 Nm
01MEC-1808
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 417
9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄，抬起真空泵，从机器基座取出。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
01MEC-1319-b
12.74 Nm