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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 417 9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄，抬起真空 泵，从机器基座取出。 警告 请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬 起泵。有可能使腰 受伤。 01MEC-1319-b 12.74 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
416 NXT III 机械手册
5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。
6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。
7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接触的那样，用绝缘料带等保护请固定。
8. 请从真空泵取下软管。
01MEC-1571a
3.92 Nm
12.74 Nm
01MEC-1315
W
VU
4.0 Nm
1.65 Nm
01MEC-1808
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 417
9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄，抬起真空泵，从机器基座取出。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
01MEC-1319-b
12.74 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
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真空泵的分解
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 （M6×L16）拧松，拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 （M6×L30）拧松，拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压，拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时，请将左右的
装配接头一点点交替地拔出。
4. 拆下汽缸。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后
会与空气一起进入体内。
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9.31 Nm
NXTBAS153-b