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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 421 6. 从汽缸中取出其他零件。 a. 松开固定排气阀压板的平头螺丝 （M3×L5） 。 b. 拆除排气阀压板、排气阀备份、排气阀。 c. 松开固定吸气阀压板的平头螺丝 （M3×L5） 。 d. 拆除吸气阀压板、吸气阀。 e. 用含有工业用酒精的回丝擦拭压板油脂， 进行清扫。特别是请小心地清扫吸 · 排气 阀的安装部和盖垫摇动部。此时， 请注意不要消除标记。…
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
420 NXT III 机械手册
b. 松开压板的 4 根平头螺丝 （M5×L12）。此时，请戴好手套，抓住松开处的连杆。
c. 拆下压板。
d. 从压板上取下吸取阀干涉橡胶。
e. 拆下盖垫。
f. 从压板上取下吸气阀干扰橡胶。
g. 用含有工业用酒精的回丝擦拭压板油脂，进行清扫。
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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 421
6. 从汽缸中取出其他零件。
a. 松开固定排气阀压板的平头螺丝 （M3×L5）。
b. 拆除排气阀压板、排气阀备份、排气阀。
c. 松开固定吸气阀压板的平头螺丝 （M3×L5）。
d. 拆除吸气阀压板、吸气阀。
e. 用含有工业用酒精的回丝擦拭压板油脂，进行清扫。特别是请小心地清扫吸 · 排气
阀的安装部和盖垫摇动部。此时，请注意不要消除标记。
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0.69 Nm
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0.69 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
422 NXT III 机械手册
真空泵的组装
1. 使法兰部向下将新的盖垫安装在连杆上。
2. 从压板的背后插入新的吸气干扰防止橡胶。
3. 对准压板的标记，用 4 根小平头螺丝 （M5×L12）拧紧。
4. 将吸气阀安装在气缸上。
a. 在气缸上放置吸气阀 （2 个）。将吸气阀备份以及吸气阀压板重叠。
b. 一边确认吸气阀不要碰到气缸的凹槽内侧周围，一边将吸气阀压板用小螺丝
（M3×L5）拧紧。
备注 )吸气阀压板有安装方向。尽量使其从孔中心到侧面为止的尺寸短的方向与吸气阀 R 侧
相一致。将吸气阀压板的上侧安装在表面。
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