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7. 部件的更换 MEC-NXT3-004S0 482 NXT III 机械手册 3. 拆除连接在控制箱支架上的插头 (M SICN1、MSICN2 、MSICN3)。 4. 拆除固定真空控制箱的螺栓 (2 根 )。 5. 从基座中取出控制箱。 注意 )取出控制箱时，请注意不要强拉电线类。 6. 请安装新的 CPU 箱，连接插头。 注意 )· 安装 CPU 箱的时候， 请注意不夹住电线。 · 在导线和电路板上， 各自用数字和字母 记载了…
MEC-NXT3-004S0 7. 部件的更换
NXT III 机械手册 481
7.13 真空泵控制箱的更换
以下显示出真空泵控制箱的位置。
7.13.1 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手套件
7.13.2 更换方法
1. 拉出模组后，将主电源开关 OFF。
2. 请拆下螺丝 (2 根 )，取下盖板。
01MEC-1458
警告
拆除基座上盖板，在其开口部进行作业时，请注意没有其他作业者拉出 /
插入模组。手指有可能被夹住后切断。
在更换元件相机前，务必切断机器主电源。
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3.3 Nm
7. 部件的更换 MEC-NXT3-004S0
482 NXT III 机械手册
3. 拆除连接在控制箱支架上的插头 (MSICN1、MSICN2、MSICN3)。
4. 拆除固定真空控制箱的螺栓 (2 根 )。
5. 从基座中取出控制箱。
注意 )取出控制箱时，请注意不要强拉电线类。
6. 请安装新的 CPU 箱，连接插头。
注意 )· 安装 CPU 箱的时候，请注意不夹住电线。 · 在导线和电路板上，各自用数字和字母
记载了插头名。请确认插头名称没有错以后连接插头。 · 请拿住插头进行连接电线的
插拔，不要强拉电线。
7. 请以与拆除相反的步骤将机器返回到原状。
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01MEC-1460
MEC-NXT3-004S0 7. 部件的更换
NXT III 机械手册 483
7.14 料站基座 DC 电源的更换
更换料站基座 DC 电源时，请预先拆除料站托架。
7.14.1 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手套件
7.14.2 M3-3 模组的时候
1. 拉出模组。（参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 将主电源开关 OFF。
3. 拆下螺丝 (2 根 )，从料站基座上拆下 DC 电源盖罩。
4. 取下连接在 DC 电源上的插座。
注意 )请拿住插头进行连接电线的插拔，不要强拉电线。
5. 拆下螺丝 (4 根 )，从料站基座上拆除 DC 电源并更换。
6. 请安装新的 CPU 箱，连接插头。
注意 )请拿住插头进行连接电线的插拔，不要强拉电线。
7. 请以与拆除相反的步骤将机器返回到原状。
警告
·在进行更换操作时，请务必在切断电源后进行。
01MEC-1490a
0.69 Nm
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