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MEC-NXT3-004S0 2. 机器构成和功能说明 NXT III 机械手册 27 2. 机器构成和功能说明 在此说明构成 NXT-3 的主 要单元的名称和 功能。 2.1 机器构成 NXT-3 大体上由分为基座和搭载在基座上的模组构成 。 2.1.1 基座构成图 01MEC-1339-Sa 2M-3基座 4M-3基座 基座 模组锁定部分 真空泵(元件吸取用) 废料带回收箱 真空单元(真空支撑)用 4M-3B6基座

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1. 安全指南 MEC-NXT3-004S0
26 NXT III 机械手册
1.7.2 如何解除闭锁
操作结束时,操作人员需依次从荷包锁上取下自己的标签。
取下所有的标签后,按下面的步骤解除闭锁。
1. 确认所有的操作人员已经离开机器。
2. 确认机器处在安全状态,然后打开荷包锁将空气阀手柄旋转到 ON 位置。
3. 打开荷包锁将主开关旋转到 ON 位置。
4. 到此为止解除闭锁完成。
01SYS-0631
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MEC-NXT3-004S0 2. 机器构成和功能说明
NXT III 机械手册 27
2. 机器构成和功能说明
在此说明构成 NXT-3 的主要单元的名称和功能。
2.1 机器构成
NXT-3 大体上由分为基座和搭载在基座上的模组构成
2.1.1 基座构成图
01MEC-1339-Sa
2M-3基座
4M-3基座
基座
模组锁定部分
真空泵(元件吸取用)
废料带回收箱
真空单元(真空支撑)用
4M-3B6基座
2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-004S0
28 NXT III 机械手册
2.1.2 M3 类型模组标准构成图
01MEC-1342Sa
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