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2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-004S0 28 NXT III 机械手册 2.1.2 M3 类型模组标准构成图 01MEC-1342Sa PCU-2 ᢎᷬᴪᦘਦ䖜 MCU ⁗㓺ᴪᦘਦ䖜 3&/ ݹԬᵰḽ MP05CL ݹԬᵰ ⭞ӄ+ᐛ֒ཪ +4ᐛ֒ཪ ++64ᐛ֒ཪ 9ᐛ֒ཪ +6ᐛ֒ཪ ᵰỦ ੮౪ ⁗㓺 ;<ᵰỦᢁ 䍪㻻ᐛ֒ཪ +ᐛ֒ཪ +ᐛ֒ཪ +…
MEC-NXT3-004S0 2. 机器构成和功能说明
NXT III 机械手册 27
2. 机器构成和功能说明
在此说明构成 NXT-3 的主要单元的名称和功能。
2.1 机器构成
NXT-3 大体上由分为基座和搭载在基座上的模组构成。
2.1.1 基座构成图
01MEC-1339-Sa
2M-3基座
4M-3基座
基座
模组锁定部分
真空泵(元件吸取用)
废料带回收箱
真空单元(真空支撑)用
4M-3B6基座
2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-004S0
28 NXT III 机械手册
2.1.2 M3 类型模组标准构成图
01MEC-1342Sa
PCU-2
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MEC-NXT3-004S0 2. 机器构成和功能说明
NXT III 机械手册 29
2.1.3 M6 类型模组标准构成图
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