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2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-004S0 60 NXT III 机械手册 4M-3B6 基 座 NO. 名称 NO. 名称 1 控制箱 1 9 电流断路器箱 1 2 电路板搬运接口 L 10 远程控制 I/O 电路板 2 3 电路板搬运接口 R 11 真空泵控制箱 4 干扰过滤器 12 真空泵 5 电流断路器 13 风扇 6 基座 CPU 箱 14 远程控制 I/ O 电路板 1 7 压力计 15 控制箱 2 8 主开关 …
MEC-NXT3-004S0 2. 机器构成和功能说明
NXT III 机械手册 59
4M-3 基座
NO. 名称 NO. 名称
1 控制箱 1 11 远程控制 I/O 电路板 2
2 电路板搬运接口 L 12 真空泵控制箱
3 电路板搬运接口 R 13 真空泵
4 干扰过滤器 14 风扇
5 电流断路器 15 远程控制 I/O 电路板 1
6 基座 CPU 箱 16 控制箱 2
7 压力计 17 XS 联锁电路板 2
8 主开关 18 XS 联锁电路板 1
9 电流断路器箱 1 19 集线器
10 电流断路器箱 2 - -
01MEC-1341-a
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2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-004S0
60 NXT III 机械手册
4M-3B6 基座
NO. 名称 NO. 名称
1 控制箱 1 9 电流断路器箱 1
2 电路板搬运接口 L 10 远程控制 I/O 电路板 2
3 电路板搬运接口 R 11 真空泵控制箱
4 干扰过滤器 12 真空泵
5 电流断路器 13 风扇
6 基座 CPU 箱 14 远程控制 I/O 电路板 1
7 压力计 15 控制箱 2
8 主开关 16 集线器
01MEC-1802
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MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 61
3. 传感器配置图
在此说明用于 NXT-3 上的各种传感器的配置和 I/O( 输入输出信号 ) 显示的看法。
注意 )根据机器的状态，在进行 I/O 的输出操作时机器有破损的危险。输出操作请在本公司
以及代理店的售后服务人员的指示下进行。
3.1 I/O 的确认方法
要确认传感器的 I/O( 输入输出信号 ) 时 , 需要软件工具 「Equipment Check」 。启动
「Equipment Check」后显示出以下画面 , 请选择单元 , 进行 I/O 的确认。
备注 )有关 「Equipment Check」的详细说明，请参考 「NXT III 系统手册」的 「软件工具
的使用方法」的 「Equipment Check」。
在以下的图和表中，显示出传感器 （图中编号）和地址的关系。
01SYS-0346E