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MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图 NXT III 机械手册 67 3.4 XY 机械手传感器 3.4.1 M3 类型模组 No. 地址 信号名 1 X005 XS 轴联 锁 1 2 X006 XS 轴联 锁 2 3 X007 XS 轴联 锁 3 4 RX00C 工作头连接确认 5 RX00D Y 轴线性马达温度正常 3 2 1 01MEC-1377 5 4
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
66 NXT III 机械手册
3.3 主体模组部传感器
N0. 地址 信号名
1 X01A 模组下部冷却风扇正常
2 RX010 空气压力确认
3 RX011 元件真空压力确认
4 RX013 相邻模组松开确认
5 RX014 元件废弃箱落座确认
6 RX015 供料器误插入检测
7 Y006 相邻模组锁定确认
8 RY01C 集尘空气吹气 ON
01MEC-1418
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MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 67
3.4 XY 机械手传感器
3.4.1 M3 类型模组
No. 地址 信号名
1 X005 XS 轴联锁 1
2 X006 XS 轴联锁 2
3 X007 XS 轴联锁 3
4 RX00C 工作头连接确认
5 RX00D Y 轴线性马达温度正常
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1
01MEC-1377
5
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3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
68 NXT III 机械手册
3.4.2 M6 类型模组
No. 地址 信号名
1 RX00C 工作头连接确认
2 RX00D Y 轴线性马达温度正常
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01MEC-0257a