XPF系统手册 - 第208页
4. 固有值 SYS-XPF-4.1S 196 XPF 系统手册 4.3.4 SERVO_OFST __targetOf st_X × R [ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲 ] [ 标准设定值 ] （测定值） __targetOf st_Y × R [ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲 ] [ 标准设定值 ] （测定值） __targetOf st_Z × R [ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲…
SYS-XPF-4.1S 4. 固有值
XPF 系统手册 195
__HeightMeasureMove
Value
0～ ×
[ 说明 ] 为了在高度测定时得到视差从相机中心移动的移动量
[um]
[ 标准设定值 ] 9500
__HeightMeasureCorr
elateThresh
500 ～ 1000 ×
[ 说明 ] 用高度测定使用的正规化相关的相关数值阈值 [1/1000]
[ 标准设定值 ] 960
__HeightTemplateStD
evThresh
0～ ×
[ 说明 ] 用高度测定使用的模板标准偏差判断的阈值
[ 标准设定值 ] 15
__GlueCheckUnitMark
Qty
2～4 ×R
[ 说明 ] 进行胶着剂检查单元的高度测定的定位点的数
[ 标准设定值 ] 3
__ICMarkCheckMargin 0 ～ 255 ○
[ 说明 ] [ 用户特殊功能 ]IC 定位点检查的亮度值的极限 ( 二个
注视的区域的亮度差在固有值的范围内作为错误。)
[ 标准设定值 ] 5
__BackupPinExistGra
y
0～256 ×
[ 说明 ] 输入判断支撑销的有无的阈值。
[ 标准设定值 ] 100
4. 固有值 SYS-XPF-4.1S
196 XPF 系统手册
4.3.4 SERVO_OFST
__targetOfst_X × R
[ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲 ]
[ 标准设定值 ] （测定值）
__targetOfst_Y × R
[ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲 ]
[ 标准设定值 ] （测定值）
__targetOfst_Z × R
[ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲 ]
[ 标准设定值 ] （测定值）
__targetOfst_Q × R
[ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲 ]
[ 标准设定值 ] （测定值）
__targetOfst_R × R
[ 说明 ] 绝对值译码器的修正值 [ 逻辑脉冲 ]
[ 标准设定值 ] （测定值）
__stbTimeFastX 0 以上 ×
[ 说明 ] 伺服 X 轴稳定时间 低精度模式用静定时间 [msec]
[ 标准设定值 ] 10
__stbTimeFastY 0 以上 ×
[ 说明 ] 伺服 Y 轴稳定时间 低精度模式用静定时间 [msec]
[ 标准设定值 ] 10
__stbTimeFastR 0 以上 ×
[ 说明 ] 伺服 R 轴稳定时间 低精度模式用静定时间 [msec]
[ 标准设定值 ] 10
SYS-XPF-4.1S 4. 固有值
XPF 系统手册 197
__stbTimeFastQ 0 以上 —
[ 说明 ] 伺服 Q 轴稳定时间 低精度模式用静定时间 [msec]
※当前不使用
[ 标准设定值 ] 10
__stbTimeSlowX 0 以上 —
[ 说明 ] 伺服 X 轴稳定时间 高精度模式用静定时间 [msec]
[ 标准设定值 ] 30
__stbTimeSlowY 0 以上 —
[ 说明 ] 伺服 Y 轴稳定时间 高精度模式用静定时间 [msec]
[ 标准设定值 ] 30
__stbTimeSlowR 0 以上 —
[ 说明 ] 伺服 R 轴稳定时间 高精度模式用静定时间 [msec]
[ 标准设定值 ] 30
__stbTimeSlowQ 0 以上 —
[ 说明 ] 伺服 Q 轴稳定时间 高精度模式用静定时间 [msec]
[ 标准设定值 ] 30