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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 基板信息通信错误 基板信息交接错误 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬送时基板信息的交接 错误。 ( 基板信息的交接发生了错 误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板位置。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司 21015 基板搬出时基板信息的移动 等待发生了超时。 ( 基板信息的通信发生了错 误。 )…
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
机器之间搬送同期不一
致
中间基板要求信号ON的
超时错误
基板搬入等待超时错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 46
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21012
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发生
了超时)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器间的同步确认信号和中
间待机确认信号的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21013
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21014
2-1-3-91
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板信息通信错误
基板信息交接错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时基板信息的交接
错误。
(基板信息的交接发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21015
基板搬出时基板信息的移动
等待发生了超时。
(基板信息的通信发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21016
2-1-3-92
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
LNB命令发送错误
基板信息确认错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 47
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时不能进行基板信
息的确认。
(基板信息的确认发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21017
读取基板条形码要求发生了
发送错误。
(向LNB发送命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21018
2-1-3-93