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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 LNB 命令发送错误 基板信息确认错误 错误 信息 故障排除 2-1-3 单一停止错误 47 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬送时不能进行基板信 息的确认。 ( 基板信息的确认发生了错 误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板位置。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司 21017 读取基板条形码要求…

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NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板信息通信错误
基板信息交接错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时基板信息的交接
错误。
(基板信息的交接发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21015
基板搬出时基板信息的移动
等待发生了超时。
(基板信息的通信发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21016
2-1-3-92
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
LNB命令发送错误
基板信息确认错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 47
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时不能进行基板信
息的确认。
(基板信息的确认发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21017
读取基板条形码要求发生了
发送错误。
(LNB发送命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21018
2-1-3-93
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
LNB命令接收超时
上位系统检测错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
外置基板条形码的读取确认
发生了接收错误。
(LNB接收命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21019
等待读取外置基板条形码超
时。
(LNB接收命令发生了超
时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21020
2-1-3-94