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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 托盘位置补正计测错误 没有转印注射头 拼接编带检出停止 基板吸着 OFF 超时错误 基板吸着 ON 超时错误 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板没有被正常搬送。 ( 发生了单一停止错误。 ) 请确认设备内部后取出基板 21024 基板没有被正常搬送。 ( 发生了单一停止错误。 ) 请确认设备内部后取出基板 21025 拼接编带检出。 ( 发生了单一停止错误。 …
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板吸着错误
基板停止位置传感器异
常
搬送马达异常
错误
信息
故障排除
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单一停止错误 48
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时检测到马达的驱
动错误。
(搬送马达发生了异常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认搬送马达。
2)请确认安全盖以及紧急停止开关的
状态。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21021
基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检测为打开。
(基板的停止位置传感器发生
了错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21022
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
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NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
托盘位置补正计测错误
没有转印注射头
拼接编带检出停止
基板吸着OFF超时错误
基板吸着ON超时错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21024
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21025
拼接编带检出。
(发生了单一停止错误。)
请确认拼接编带
22120
注射头没有被正确安装。
(发生了单一停止错误。)
请确认注射头的安装情况
22121
托盘位置补正计测失败了。
(发生了单一停止错误。)
请实行校准第4工程托盘吸着位置1以
及吸着位置2
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元件核对要求停止
LNB吸嘴使用互锁错误
上位系统互锁错误
托盘元件余数读取错误
吸嘴设置方向错误
错误
信息
故障排除
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单一停止错误 49
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
交换器的吸嘴设置方向错误了。
(发生了单一停止错误。)
请以正确的方向设置交换器吸嘴
22123
从托盘内存中读取元件余数
失败了。
(发生了单一停止错误。)
1.请确认在托盘的配置,读取位置中
是否有托盘。2.请确认是否能够对该
托盘的内存进行读写。3.如果上述
1.2的确认结果没有问题的话请联系
本公司
22124
上位系统要求互锁。
(发生了单一停止错误。)
请确认上位系统的状态
22125
在吸嘴交换器中存在被确定为
在LNB端无法使用的吸嘴。
(发生了单一停止错误。)
请把发生错误的吸嘴换成正常的吸嘴
22126
停止信息正从元件核对系统传
过来。
(发生了单一停止错误。)
解除停止要求后,运转就可以再进行
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