N7201A707C - 第268页
NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 错误 信息 故障排除 2-1-4 紧急停止错误 53 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 2-1-4 -104 基板搬出后传感器异常 基板搬出错误 基板搬入错误 基板搬入时超时。 ( 发生了基板搬入错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度 30400 基板搬出时超时。 ( 发生了基板搬出错误。 …
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-4
-103
TL轴制动器用继电器焊
接
TL轴吸着部高度
(连结)不一致
TP轴抽出位置
(吸着侧)检出
TP轴抽出位置
(托盘箱侧)检出
托盘板抽出检出
托盘板的抽出位置不正确。
(托盘板的抽出检测错误发
生。)
请确认托盘板的位置以及检测传感器
的动作
30395
TP轴的位置(托盘箱侧)不正确。
(TP轴的抽出位置(托盘箱侧)
检测错误发生。)
请确认TP轴的位置以及检测传感器
的动作
30396
TP轴的位置(吸着侧)不正确。
(TP轴的抽出位置(吸着侧)检
测错误发生。)
请确认TP轴的位置以及检测传感器
的动作
30397
升降的吸着部高度(连结)不正
确。
(TL轴的吸着部高度(连结)不
一致发生。)
请确认TL轴的连结位置以及检测传感
器的动作
30398
对TL轴制动器继电器的异常,
或有对TL轴MBR信号线的破
裂的可能性。
(轴动作停止了。)
请关闭错误画面再次执行生产。再次
发生时请确认原因地方的状态。另外,
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司
30399
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
错误
信息
故障排除
2-1-4
紧急停止错误 53
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-4
-104
基板搬出后传感器异常
基板搬出错误
基板搬入错误
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
30400
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
30401
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
30402
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-4
-105
基板定位错误
传送带的越限传感器异
常
基板有错误
后工序要求OFF的超时
错误
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值
30403
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
30404
基板搬入时由于越限检出传
感器没有打开。
(基板搬入时越限传感器发生
异常。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
30405
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位置
决定错误。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
30406