N7201A707C - 第304页
NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-04T-00 负荷 一览表 马达一览表 1 故障排除 4-2-1 标准部 4-2-1 -1 单元名称 No. 名称 配置位置 备注 主体部 M501 X 轴马达 前侧 M502 Y 轴马达 前侧 主 M503 X 轴马达 后侧 M504 Y 轴马达 后侧 主 M506 Y 轴马达 前侧 従 M508 Y 轴马达 后侧 従 G1 1 1 架台下的冷却风扇 1 前侧 G1 12 架台下的冷却…

NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-04T-00
4-1-10

NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-04T-00
负荷
一览表
马达一览表 1
故障排除
4-2-1
标准部
4-2-1-1
单元名称
No.
名称 配置位置 备注
主体部
M501
X轴马达
前侧
M502
Y轴马达
前侧
主
M503
X轴马达
后侧
M504
Y轴马达 后侧 主
M506
Y轴马达 前侧 従
M508
Y轴马达 后侧 従
G111
架台下的冷却风扇 1
前侧
G112
架台下的冷却风扇 2
后侧
G111
架台下的冷却风扇
前侧
G113
架台下的冷却风扇
后侧
G211
真空泵
后侧
主体盖部
G103
顶部冷却风扇 1
前侧
G104
顶部冷却风扇 2
后侧

NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-04T-00
4-2-1-2
选购件
单元名称
No.
名称 配置位置 备注
基板传送带
(双重)
M620
轨道2 搬送马达 左待机 固定侧
M621
轨道2 搬送马达 左待机 可动侧
M622
轨道2 搬送马达 实装位置2 固定侧
M623
轨道2 搬送马达 实装位置2 可动侧
M624
轨道2 搬送马达 实装位置1 固定侧
M625
轨道2 搬送马达 实装位置1 可动侧
M626
轨道2 搬送马达 右待机 固定侧
M627
轨道2 搬送马达 右待机 可动侧
M629
轨道2 宽度调整轴马达
基板传送带
(单式)
M610
轨道1 搬送马达 左待机 固定侧
M611
轨道1 搬送马达 左待机 可动侧
M612
轨道1 搬送马达 实装位置2 固定侧
M613
轨道1 搬送马达 实装位置2 可动侧
M614
轨道1 搬送马达 实装位置1 固定侧
M615
轨道1 搬送马达 实装位置1 可动侧
M616
轨道1 搬送马达 右待机 固定侧
M617
轨道1 搬送马达 右待机 可动侧
M619
轨道1 宽度调整轴马达