4. SM471_Maintenance_Handbook_Ver1.pdf - 第40页
SM471 M aintenance Handbook 40 Cha pter 4 Fas t & Fl ex ibl e Chip Sho ot er Cooling Fan Filter Cooling Fan Filter Cover ① Cooling Fan Cover 분리 ② 진공청소기로 청소 주간 점검 진공청소기 3. “비상정지 해제하기(Page 14)”를 참조하여 비상정지 해제하여 작업을 재진행 …
Chapter 4
주간 점검
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
주간 점검
공기분사기, 알코올, 극세사 천
1. “Front X Frmae의 전면이동 (Page 9)”과 “Rear X Frame의 후면이동
(Page 12)”을 참조하여 각각의 X Frame을 양쪽 끝으로 이동
2. OP패널의 ‘EMG’ 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 ‘STOP’, ‘RESET’ 버튼을
차례대로 누르기. 자세한 사항은 “비상정지 하기 (Page 8)”참조
3. 공기분사기를 이용하여 Mirror의 먼지를 청소
4. 이물질이 완전히 제거되지 않았다면 깨끗한 천에 알코올을 소량 묻혀서 닦기
5. “비상정지 해제하기(Page 14)”를 참조하여 비상정지 해제하여 작업을 재진행
Head Mirror 청소
유지보수 도구
조치
강한힘을 가하여 닦거나 오염된 천으로 닦을경우, Mirror 표면의 코팅이 손상
될 수 있음, 손상 시 C/S회사(STS) 또는 현지 대리점(Local agent)으로 문의
주 의
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
Cooling Fan Filter
Cooling Fan Filter Cover
① Cooling Fan Cover 분리 ② 진공청소기로 청소
주간 점검
진공청소기
3. “비상정지 해제하기(Page 14)”를 참조하여 비상정지 해제하여 작업을 재진행
2. 조립은 분해의 역순
1. 다음 그림 순서대로 분리하여 Filter를 청소 (Filter가 손상되었다면 Filter를 교환)
Cover Cooling Fan Filter 청소
유지보수 도구
조치
쿨링 팬의 필터(Filter)를 물 세탁을 하게 되면 필터(Filter)가 경화되어 손상이 있을 수
있음. 반드시 지정된 방법으로 청소할 것
경 고
Chapter 4
주간 점검
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
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주간 점검
3. MMI의 ‘Diagnosis’메뉴를 선택하고, ‘Vacuum’하위메뉴 선택
Solenoid Valve 점검
조치
1. ANC에 CN040 Nozzle을 삽입
2. 장비를 작동시켜 ANC의 CN040 Nozzle을 Head에 장착
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