4. SM471_Maintenance_Handbook_Ver1.pdf - 第41页
Chapte r 4 주간 점검 SM471 M aintenance Handbook 41 Cha pter 4 Fas t & Fl ex ibl e Chip Sho ot er 2 주간 점검 3. MMI의 ‘Diagnosis’메뉴를 선택하고, ‘V acuum’하위메뉴 선택 Solenoid V alve 점검 조치 1. ANC에 CN040 Nozzle을 삽입 2. 장비를 작동시켜 ANC의 CN04…
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
Cooling Fan Filter
Cooling Fan Filter Cover
① Cooling Fan Cover 분리 ② 진공청소기로 청소
주간 점검
진공청소기
3. “비상정지 해제하기(Page 14)”를 참조하여 비상정지 해제하여 작업을 재진행
2. 조립은 분해의 역순
1. 다음 그림 순서대로 분리하여 Filter를 청소 (Filter가 손상되었다면 Filter를 교환)
Cover Cooling Fan Filter 청소
유지보수 도구
조치
쿨링 팬의 필터(Filter)를 물 세탁을 하게 되면 필터(Filter)가 경화되어 손상이 있을 수
있음. 반드시 지정된 방법으로 청소할 것
경 고
Chapter 4
주간 점검
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
2
주간 점검
3. MMI의 ‘Diagnosis’메뉴를 선택하고, ‘Vacuum’하위메뉴 선택
Solenoid Valve 점검
조치
1. ANC에 CN040 Nozzle을 삽입
2. 장비를 작동시켜 ANC의 CN040 Nozzle을 Head에 장착
1
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
3
5
4
주간 점검
4. <Valve Check> 버튼을 클릭하고,‘Valve Check’대화상자의 <Try> 콤보박스에서
Vacuum ON/OFF 횟수를 선택한 후 <Test> 버튼 클릭
5. 점검 결과 이상시 STS 또는 Local Agent로 연락하여 해당 Solenoid Valve를
교체
Solenoid Valve 점검 및 이상유무 확인과 관련된 자세한 사항은 Administrator’s
Guide의 “14.4 Vacuum’을 참조하십시오.
Vacuum Filter는 주간단위로 점검하시고 최대 6개월내 교환을 해야만 부품의
Pickup(흡착)을 위한 Vacuum이 정상적으로 형성됩니다.
솔레노이드 밸브는 소모품으로써 안정적인 작업을 위해서는 2년 주기로
솔레노이드 밸브를 교환하는 것을 권장합니다.
주 의