NPM-D3规格说明书 - 第124页
NPM-D3 2014.0428 - 1 18 - ■ 调整螺栓的配置图 ( 单位 : mm) 223 A IR 0.5 MPa ~ 0.8 MPa 传送带基准面 电源 825 1359.5 673.5 2 575 421 1 290 444 420 660 820 80 80 139 前 侧
NPM-D3 2014.0428
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13.
尺寸图
(
单位
: mm)
Remarks
上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持
40 mm
以上。
1 207
864
1 629
1 514
1 444
900
820
832 (主体)
57
(基板传送高度)
830
820 55
(传送带长度)
(罩外形)
前 侧
Air
电源
2 652
941 941 686
515
80
686 1 025
194
114
交换台车规格 托盘供料器规格
2 683 (2 729: 连接交换台车时)
941 1 056 686
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
托盘供料器或者交换台车
交换台车
交换台车
交换台车
(1 102: 连接交换台车时)
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
223
A
IR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
传送带基准面
电源
825
1359.5 673.5
2 575
421 1 290 444 420
660
820
80 80
139
前 侧
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■ 传送带的外形尺寸
(N-CONL, N-CONR)
(
单位
: mm)
■ 托盘供料器的外形尺寸
(
单体
)
※
1
托盘供料器高度
896 mm
，是
NPM-D3
的基板搬送高度是
900 mm
时的标准值。
可调整范围是
: 896 mm
。
※
2 350 × 480 mm
尺寸的基板中心
498
(
从基板中心
※
2
)
基板中心
※
2
+65
-16.5
896
※
1
1 052
985
185
873
828
480
基板传送高度
罩外形
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
1 042
900
+70
-20
1 350
686 332 332
450
传送带长度