Schmtic_GPX_07_ - 第126页
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WAKU_USR_AJ54409.XLS
番号 品名 記号 形式 メーカー 定格 個数 備考
NO. NAME SYMBOL TYPE MANUFACTURER RATING Q'T
Y
NOTE
真空ポンプ DOP-300SA アルバック機工 3φ200VAC (1)
1 VACUUM PUMP ULVAC 400W
2
圧力センサ ZSE30-01-65-ML ＳＭＣ (1) ﾊﾞｷｭｰﾑ圧力確認
3 PRESSURE SENSOR SMC
4
流量計 PF2A751-04-27-M ＳＭＣ (1)
5 SWICH FLOW SMC
温度ヒュ−ズ MTG4A50072 村田製作所 (1)
6 FUSE MURATA
端子台
DSG1.5／2 WITHBB TN00831 日本ワイドミュラー (1)
7 TERMINAL BOARD
NIPPON WEIDMULLER
8
9
10
11
12
13
ソレノイドバルブ
SYJ712R-5LOZ-01-F-X20 ＳＭＣ 24V 0.4W (1)
14 SOLENOID VALVE SMC
15
16
17
NAME 電気部品明細表 PAGE
ELECTRIC PARTS LIST 26 /26
TITLE 外付基板ﾊﾞｷｭｰﾑﾎﾟﾝﾌﾟBOX TYPE
VACUUM PUMP BOX GPX
DRAWING NO.
RP02430 2/ 2
(F3SOL1)
（F3Ｆ2/3）
（F3PS2）
（F3Ｆ2/3）
（F3PS1）
(F3M2)
H11225
S3158R
XP00530
ｺｰﾄﾞ番号
CODE No
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TYPE
GPX
部品配翻
TITLE
電源
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