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Downloaded at 2010/04/07 18:31 JST by 3PYM4216 DL#jdS6Xojc １）ＢＡ信号については、出力するが ＳＭＥＭＡ非準拠である。 OUTPUT Signal of Board Available do not conform to SMEMA. ２）線番ＳＭＭ１−２と線番ＳＭＭ５−６については、送れ信号（ＦＵＪＩ仕様）と ＢＵＳＹ信号（ＳＭＥＭＡ規格）で共用しており、前者の場合コンパクト…

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m
符 号
MARK
□
々
□□
1
Z
)
□
々
□□
-
o
図 番
図 番
MARK
□
(
[
SSBEI
B
_
OX
PA
~
RTS
ARRlGEMENT
-
PQTERM
.
Az
么
m
口
-
:
5
SETP
CONTROM
SETTING
LIST
R D
0
Q
4 8
Q
R S O
1 1 1 8
說
f
Fil
画
，
fmm
設 定 表
SETTING
LIST
Ut
-
卜
I
/
O
REYQTE
I
/
O
R S O
1 1
0 5
R D
0 0 4 9 0
PAtlsfmNGTMENT
"
Imof
'
^
NET
制御基板
CQTTROL
BOARD
g
魏
R S O
1
Q Q
6
R D
0 0 5 0 4
SETTING
LIST
又
x
'
V
夕二卜
[
]
一
5
1
fitlsllNGEMETf
STTPTONTTorfErr
設定表
SETTINGTIST
R S O
1 1 6
1
R D
0 0 5 1 2
部品配置図
又 亍 卜 口
_
5 3
PA
'
RTS
ARRANGEMENT
STE
~
P
CONTTOCLER
3
VACUUM
PUMP
CONTROL
BKT
BM
.
R D
0
Q
5 9 2
R S O
1 1 7 0
SETTING
LIST
VACUUM
PUMP
BOX
設
-
$
l
—
_
SETTING
LIST
R D O
1 5 1 0
部
jg
隨
iL
PA
~
RTS
ARRANGEMENT
BASE
DEVICE
ARRANGEMENT
R S Q
1
1
8 2
oipgEWM
MS
ARRANGEMENT
VACUUM
PUMP
CONTOR
BKT
鹽 碰
R S
0 4 2 7 0
端子板結線図
電源
B K T
TERMINAL
DIMM
Silt
R L O
1
0 3 0
端子板結線図
制御基板
TERMINAL
DIAGRAM
CQTTRQL
B
'
QARD
R L O
1 0 4 2
堅擬吉
-
繼
_ _ _
_
-
中
_
繼
〕
_
衫
_
夕
_
TERMINAL
DIAGRAM
CONNECTOR
R L
0 0 9 0 3
Mil
接続図
CONNECTION
DIAGRAM
GENERAL
CONNECTION
R L
0 0 9 5 5
TITLE
TYPE
電気回路
_
G P X
DRAWING
No
.
PAGE
2
A
AJ
544
Q
9
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１）ＢＡ信号については、出力するが
ＳＭＥＭＡ非準拠である。
OUTPUT Signal of Board Available do not conform to SMEMA.
２）線番ＳＭＭ１−２と線番ＳＭＭ５−６については、送れ信号（ＦＵＪＩ仕様）と
  ＢＵＳＹ信号（ＳＭＥＭＡ規格）で共用しており、前者の場合コンパクトコネクタ
  （Ｈｉｒｓｃｈｍａｎｎ製）を使用し、後者の場合ＣＰＣコネクタ（ＡＭＰ製）
  を使用
する。
Wire no.SMM1-2 and SMM5-6 are shared as Request signal (Fuji standard)
and BUSY signal (SMEMA standard).
Fuji standard is using the compact connector(Hirschmann manufacture).
SMEMA standard is using the CPC connector(AMP manufacture).
３）線番ＳＭＭ９、１０、１５∼２０についてはコネクタにて中継するのみで本機では使用しない。
Wire no. SMM9,10,15 to 20 are not used on the machine.
They relay only through the CONNECTOR.
外部信号
（
搬送
50
信号
）
]
本
9
夕詳細
Detail
of
connector
for
signal
1 0
1
1 15
transferrig
line
on
C N A
(
前工程側
）
CNA
(
Previous
side
)
C N B
(
後工程側
）
CNB
(
Next
side
)
1
02
116
C N A
•
C N B
詳細
（
SMEMA
規格
）
CNA
-
CNB
DtaiKSMEMA
Standard
)
線番 線番
匕
）
No
.
Pin
No
.
匕
）
No
.
Pin
No
.
Wiring
No
.
Wiring
No
.
SMM
1
SMM
5
103
117
CPC
connector
(
AMP
manufacture
)
2
SMM
2
2
SMM
6
3
SMM
3
3
SMM
7
4
-
SMM
4
4
-
SMM
8
1
04
118
o
SMM
9
SMM
9
5 5
1
/
0
o
o
\
3
4
(
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o
o
o
\
7
八
o o
o
oin
12
\
p
o o
/
14
6
SMM
1
0
6
SMM
1
0
7
SMM
1 1
7
SMM
13
105
119
8 8
SMMU
SMM
12
O O
9
9
SMM
1
5
SMM
15
1
0
SMM
1
6
SMM
16
1
0
106
120
2
0
6
04
3
-
1
SMM
17
SMM
17
12
SMM
1
8
12
SMM
1
8
SMM
1
9
SMM
1
9
13
1
3
1
07
1 2 1
U
SMM
20
U
SMM
20
108
122
匚
|
\
!
(
>
匚问
0
詳細
（
「
1
]
」
I
仕様
）
CNC
.
CND
DtaiKFUJI
Standard
)
109
123
C N C
(
前工程側
）
CNC
(
Previous
side
)
C N D
(
後工程側
）
CND
(
Next
side
)
110
124
L
°
>
No
.
Pin
No
.
送
Tl
出力
Send
output
送
n
入力
Send
input
125
L I S M M
1
L
1
S M M
5
1
12
126
2
L I S M M
2
L
1
S M M
6
STAK
2
(
Hirschmann
)
CABLE
:
STAS
2
D
本夕夕
Connector
STASI
2
(
Hirschmann
)
1 1 3
127
CABLE
:
1
u
128
注
）
CNC
、
C N D t t C N A
、
C N
B
(
I
延 長 八 一 才 又 汔 追 加
①
対 応 李 丈
。
Notes
)
CNC
and
CND
correspondence
which
adds
extended
harness
to
CNA
and
CNB
.
serve
as
129
電気回路線図
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
X
TITLE
前後工程
1
/
F
制御回路
F
/
R
INTERFACE
CONTROL
CIRCUIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
MO
REQ
282
Q
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C N B
(
後工程側
）
CNB
(
Next
side
)
—
i
(
M
0
CR
3
X
2
)
KA
3
X
2
/
M
0
SMM
5
CN
-
IF
1
PL
102
426
R
102
-
5
2.7
kQ
SML
-
3
I
0
MT
(
M
0
CR
3
X
2
)
KA
3
X
2
/
M
0
426
麵基板
(
M
0
PCB
1
)
CONTROL
BOARD
AP
1
/
M
0
後工程炒
5
_
臓信号
FROM
NEXT
(
BUSY
)
PC
15
+
24
VAL
2
e
e
㈣
ADDRESS
405
X
001
e
PS
2805
-
I
SMM
1
A
SMM
5
A
(
M
0
CR
3
X
2
)
KA
3
X
2
/
M
0
r
SMM
6
SMM
2
A
els
CN
-
IF
1
426
-
!
2
-
6
(
M
0
CR
3
X
2
)
11
—
-
-
t
-
13
前工程力
、
5
①
基板纏号
FRONT
AVAILABLE
PCU
KA
3
X
2
/
M
0
426
(
M
0
CR
3
X
3
)
+
24
VAL
2
swn
fi
^
—
+
-
4
ADDRESS
-
O
KA
3
X
3
/
M
0
g
419
CN
-
IF
1
ADDRESS
427
403
o
m
-
!
3
-
7
X
00
Q
PS
2805
-
I
(
M
0
CR
3
X
3
)
SMM
3
A
KA
3
X
3
/
M
0
427
SMM
7
A
(
M
0
CR
3
X
3
)
r
SMU
8
KA
3
X
3
/
M
0
CN
-
IF
1
427
-
8
-
!
4
(
M
0
CR
3
X
3
)
SMM
8
A
KA
3
X
3
/
M
0
427
GA
C N A
(
前工程側
）
CNA
(
Previous
side
)
r
20
1
(
M
0
CR
3
X
)
KA
3
X
/
M
0
sm
\
ADDRESSH
202
416
CN
-
IF
1
422
203
204
(
M
0
CR
3
X
)
KA
3
X
/
M
0
422
205
(
M
0
CR
3
X
)
Slv
|
M
2
13
—
-
H
-
n
£
^
A
"
KA
3
X
/
M
0
CN
-
IF
1
422
-
!
2
-
2
206
(
M
0
CR
3
X
)
KA
3
X
/
M
0
422
207
(
M
0
CR
3
X
1
)
4
y
-
PK
KA
3
X
1
/
M
0
Slv
|
M
3
£
^
A
"
CN
-
IF
1
PL
101
424
卜
R
101
°
^
zezF
2.7
kQ
-
!
3
-
3
208
SML
-
310
MT
209
(
M
0
CR
3
X
1
)
2
10
KA
3
X
1
/
M
0
424
(
M
0
CR
3
X
1
)
S
\
f
\
A
n
—
hi
1
21
1
KA
3
X
1
/
M
0
CN
-
IF
1
424
-
|
4
-
4
(
M
0
CR
3
X
1
)
2 1 2
KA
3
X
1
/
M
0
424
2
13
214
215
216
217
2
1
8
219
220
221
222
223
224
225
226
227
228
229
電気回路線図
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
TITLE
前後工程
1
/
F
制御回路
F
/
R
INTERFACE
CONTROL
CIRCUIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
M
0
RE
02820