Schmtic_GPX_07_ - 第97页
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外付基板真空
ylt
力
1
御
BKT
PANEL
VACUUM
PUMP
BKT
F
3
IV
2
(
U
2
/
F
3
)
0
>
PI
P
2
■
6
R
/
L
1
U
MSI
/
2
/
3
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1
-
1
1
/
2
/
3
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2
-
1
■
6
S
/
L
2
V
6
-
1
/
2
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3
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CN
1
-
2
S
1
/
2
/
3
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CN
2
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2
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Z
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CN
2
-
3
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T
/
L
3
W
(
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MSI
/
2
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3
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1
-
3
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MS
1
/
2
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3
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2
-
5
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MS
1
/
2
/
3
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CN
2
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6
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Q
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MSI
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2
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3
CN
1
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30
B
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2
/
3
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3
-
30
C
X
1
m
CN
3
-
j
|
CN
3
-
9315
M
1
U
1
O
9316
(
F
3
M
2
)
基板真制
:
y
方
-
夕
PCB
VACUUM
PUMP
MOTOR
M
1
V
1
M
■
o
9317
10
W
M
2
/
F
3
M
1
W
1
■
O
9318
9319
■
O
9320
RX
023
+
24
VAL
2
"
1
ADDRESS
J
9205
ADDRESS
9208
"
1
ADDRESS
-
1
9217
9321
RX
024
RY
02
D
GA
9322
9323
930
1
R
9302
ADDRESS
S
9303
9103
9304
©
9305
9306
9307
9308
9309
9310
9324
931
1
9325
9312
9326
93
13
9327
93
14
9328
9329
注
i
:
cox
-
ytt
才
N
0
TE
1
:
THIS
PAGE
IS
OPTION
外付
(
例艾
（
2
/
2
)
EXTERNAL
INSTALLATION
(
2
/
2
)
電気回路線図
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
，
93
TITLE
_
ff
]
-
厶制御回路
BOARD
VACUUM
CONTROL
CIRCUIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
X
F
3
RE
03002
■
ZEES
ZEEQ
.
CN
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92 0
1
92 02
92 03
(
21
PCB
1
)
API
/
21
乂牛
-
獨卸麵
921 5
92 16
八
:
V
夕
'
隨検出
SOLDER
REMAINING
DETECTION
92 1 7
922 9
注
i
:
cox
-
ytt
才
NOTE
1
:
THIS
PAGE
IS
OPTION
電気回路綱
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
92
93
TITLE
八
；
y
夕
'
自動供給制御回路
S
)
LD
[
R
AUTO
SUPPLY
CONTROL
CIRClJIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
22
RE
03010
9214
9228
9213
9227
9212
9226
92
9225
92
0
9224
9208
9222
八
>
夕
、
供給装蜃前進繼認
SOLDER
SUPPLY
UNIT
ADVANCE
CHECK
9209
9223
9206
9220
下降端確認
SYRINGE
LOWER
LIMIT
CHECK
9207
9221
9204
9218
、
:
/
切上昇繼認
SYRINGE
UPPER
LIMIT
CHECK
9205
9219
s
OPTION
X
109
!
X
10
A
X
10
A
-
2
iCN
5
0
X
10
B
XI
0
B
JiN
5
M
L
-
^
>
<
^
r
-
6
X
10
C
-
3
11
ICVJ
+
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半田押
L
出
L
加圧
SOLDER
PUSH
-
OUT
PRESSURE
9317
93
1
8
半田押
L
出
L
負圧
SOLDER
PUSH
-
OUT
SUCTION
9319
9320
SOLDER
9321
(
21
PCB
1
)
API
/
21
又牛制醒板
CD
o
OPTION
半田供給装
i
後退
SOLDER
SUPPLY
UNIT
RETRACT
丫
1 1 0
<
3
^
-
25
半田供給装置前進
SOLDER
SUPPLY
UNIT
ADVANCE
Yin
MF
1
<
3
^
-
|
工
J
7
-
漏槪止
AIR
LEAKAGE
PREVENTION
丫
112
丫
112
<
3
^
注
i
:
cox
-
ytt
才
NOTE
1
:
THIS
PAGE
IS
OPTION
電気回路綱
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
，
93
TITLE
八
；
y
夕
'
自動供給制御回路
S
)
LD
[
R
AUTO
SUPPLY
CONTROL
CIRClJIT
TYPE
GPX
DRAWING
No
.
2
A
22
RE
03010
CQ
o
-
22
<
d
^
9328
9329
9322
八
>
物卜切
y
SOLDER
CUT
9323
9324
SYRINGE
DOWN
9325
9326
、
:
上昇
SYRINGE
UP
9327
(
21
PCB
1
)
API
/
21
又牛
-
獨卸麵
-
12
;
cn
|
L
YIOA
OPTION
Y
10
A
M
^
e
>
-
13
Y
10
B
歸
Y
1
QB
^
e
>
丫
10
C
Y
10
D
Y
10
D
-
16
Y
10
E
CN
1
L
Y
10
E
M
-
17
Y
10
F
Y
10
F
930
1
9302
9303
9304
9305
9306
9307
9308
9309
9310
931
1
9312
93
13
93
14
13
COAS
+
—
(
N
4
-