07_Parts List_N7203A339B00 - 第189页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 33-B 溶剤 供 給 ユニット(F):DSP Solven t supply u nit(F) :DSP ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610108530AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 P…
33-B
溶剤
供
給
ユニット(F):DSP
Solvent supply unit(F):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610108530AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S175
( KN610108530AA-05-2 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
33-B
溶剤
供
給
ユニット(F):DSP
Solvent supply unit(F):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610108530AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PIPE
1
1 N210101770AB
PIPE
1
2 N210085785AD
BRACKET
1
3 N210117236AC
PW004A0
2
4 KXFB01CCA00
TANK
1
5 N610027765AA
FILTER
1
6 N610009394AA
TUBE
1
7 N610083050AA
SENSOR(200-380mm)
1
8 N610110575AA
JOINT
2
9 N510001412AA C4N6X4-PT1/8-S
PUMP
1
10 N510048045AA PB1013-01-X31
JOINT
1
11 KXF0DYT5A00 KQ2H04-01S
JOINT
2
12 N510001107AA L4N6X4-PT1/8ST
JOINT
1
13 N510036675AA PPU6
VALVE
1
14 N510001478AA
A
NCV-304-Rc1/8-P
PLATE
2
15 KXF05EMAA00 GP5-1
NUT
2
16 XNH16CVW Hexagon nut Type3 Best class M16-6H-A2-70
BOLT
2
17 N510017536AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
Process Pump Kit:DSP
1
18 N610113253AA
S176
--
( KN610108530AA-05-2 )
34-A
マスククリーニング(R):DSP
Mask Cleaning(R):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610093214AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S177
( KN610093214AA-11-1 )