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CM602-L 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3- 37 压力开关的设定 方法 1. 键锁定的解除 ① 按 [SET]4 秒以上，将显示键锁定的设定 “Loc” 。 ② 按 使 “UnL” 显示，然后再按 [SET] ，解除键锁定。 2. 压力的设定 ① 在测定模式时按 [SET] ，将变为设定值显示。 ② “P_1” 和现在的设定值将交替闪炼显示。 ③ 按 [SET] ，将显示如下设定值。 ④ 按 ，将变为数值变更模式…
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3.2
检查和对策
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3.2
检查和对策
3.2.1
运转气压异常
1.
调整运转气压
在没有正常气压供给的情况
(0.49 MPa ~ 0.54 MPa)
时，请按下图顺序调整为规定气压。
2.
设定气压检测值
未设定为规定的
(0.45 MPa)
时，请按照下图的方法，设定为规定的气压检测值。
调整气压
1.
解除锁定
2.
调整
3.
锁定
•
对于气压检测值，可按
∆∇
键变换数字显示的设
定，然后按
“SET”
进行确定。
关于设定方法，请参照后述的
“
压力开关的设定方
法
”
。
EJM8A-C-MMC03-A01-00
EJM4A-AB01
EJM4A-062P
SMC PRESSURE
MPa
OUT
SET
4Z4C-403E
调节器旋钮
压力表
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3.2
检查和对策
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压力开关的设定方法
1.
键锁定的解除
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“Loc”
。
② 按 使
“UnL”
显示，然后再按
[SET]
，解除键锁定。
2.
压力的设定
① 在测定模式时按
[SET]
，将变为设定值显示。
②
“P_1”
和现在的设定值将交替闪炼显示。
③ 按
[SET]
，将显示如下设定值。
④ 按 ，将变为数值变更模式。
(
请参照数值设定的方法
)
⑤ 将
LCD
显示如下设定。
“P_1” “.450”
“P_2” “.600”
“H” (
应差
) “.050”
3.
数值设定的方法
① 输入压力设定等数值时，按 ，进入设定值变更模式后第
1
位将会闪炼。
② 按 ，任意设定数值。
(
输入数值中如果
10
秒以上不按按
钮，该数值将被自动设定，然后返回到设定值显示。
)
③ 按
[SET]
，进一位的数值将闪炼。
(
最大位数为
0
时，
或
将会闪炼。
表示为正
0
。
表示为
负
0
。
)
(
在最大位数上按
[SET]
时，第
1
位数将会闪炼。
)
④ 按
[SET]1
秒以上，将返回到设定值显示。
4.
键锁定的设定
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“UnL”
。
② 按
，使
“Loc”
显示，按
[SET]
设定键锁定。
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3.2
检查和对策
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3.2.2
真空泵温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请拆卸整体交换台车，执行
[
输出确认
]
。
请确认从冷却扇的出风口是否向外送风。
(
不必拆卸主体盖。
)
冷却扇在本机后面的
A
、
B
工作台
2
处设置。
(
请参照下图
)
从出风口未向外送风时，可判断为冷却扇出了故障。需进行更换，届时与本公司联系。
冷却扇的出风口
(
卸下盖后的状态
)
(
左
: B
工作台
右
: A
工作台
)
使真空泵置于
ON
的顺序
1.
拆卸整体交换台车。
( “1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装
”)
2.
在机器调整菜单中按
[
输出确认
]
。
3.
选择工作台。
•
画面为高速吸头
(12
吸嘴
)
。
4.
按
[
真空泵
]
。
•
OFF
的显示将被切换为
ON
，然后真空泵开始
旋转。
∗
作业完了后，请以同样的顺序使真空泵置于
OFF
。
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4Z4C-404E
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