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CM602-L 维修手册 3.5 DT50S-2 0 负荷配置图 Pa ge 3- 67 3.5 DT50S-2 0 负荷配置图 通知 关于负荷配置的正确位置，请参照主机上所贴的标签。 3.5.1 托盘主体部分 多层托盘主体 多层托盘升降机 多层托盘抽屉 EJK1A-403E EJK1A-402E EJM8A- C-MMC03- A02-0 1 EJK1A-401E
CM602-L
维修手册
3.4 ST40S-20
负荷配置图
Page 3-66
3.4.4
梭式安全盖
(BR
用
)
(AR
用
)
4Z4C-442E
4Z4C-443E
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.5 DT50S-20
负荷配置图
Page 3-67
3.5 DT50S-20
负荷配置图
通知
关于负荷配置的正确位置，请参照主机上所贴的标签。
3.5.1
托盘主体部分
多层托盘主体
多层托盘升降机
多层托盘抽屉
EJK1A-403E
EJK1A-402E
EJM8A-C-MMC03-A02-01
EJK1A-401E
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-68
3.6
负荷一览表
3.6.1
电机一览表
(M)
标准部
(1/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
M-S2
Y
轴驱动
AF
M-S4
Y
轴驱动
AR
M-S6
Y
轴驱动
BF
M-S8
Y
轴驱动
BR
FANP1
真空泵冷却扇
A
FANP2
真空泵冷却扇
B
M9
真空泵
A
主体部
M10
真空泵
B
M-S1
X
轴驱动
AF
M-S3
X
轴驱动
AR
M-S5
X
轴驱动
BF
XY
装置
M-S7
X
轴驱动
BR
PM1
宽度调节驱动
(
主
)
A
M1A
基板搬送
(
固定侧
1)
A
M2A
基板搬送
(
固定侧
2)
A
M3A
基板搬送
(
固定侧
3)
A
M4A
基板搬送
(
固定侧
4)
A
M7A
基板搬送
(
可动侧
1)
A
M8A
基板搬送
(
可动侧
2)
A
M9A
基板搬送
(
可动侧
3)
A
基板传送带
L
M10A
基板搬送
(
可动侧
4)
A
PM2
宽度调整驱动
(
主
)
B
M1B
基板搬送
(
固定侧
1)
B
M2B
基板搬送
(
固定侧
2)
B
M3B
基板搬送
(
固定侧
3)
B
M4B
基板搬送
(
固定侧
4)
B
M7B
基板搬送
(
可动侧
1)
B
M8B
基板搬送
(
可动侧
2)
B
M9B
基板搬送
(
可动侧
3)
B
基板传送带
R
M10B
基板搬送
(
可动侧
4)
B
EJM8A-C-MMC03-A02-01