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CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3- 79 选购件部分 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 VL521 基板侧夹具 ( 左 ) A VL531 基板侧夹具 ( 右 ) A VL921 基板侧夹具 ( 左 ) B 主体部 VL931 基板侧夹具 ( 右 ) B VL231 挡板开 AF VL230 挡板闭 AF VL431 挡板开 AR VL430 挡板闭 AR VLB31 挡板开 BF VLB30 挡板…
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-78
(6/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL21
NP1
真空阀
AF
VL22
NP2
真空阀
AF
VL23
NP3
真空阀
AF
VL24
NP4
真空阀
AF
VL25
NP5
真空阀
AF
VL26
NP6
真空阀
AF
VL27
NP7
真空阀
AF
VL28
NP8
真空阀
AF
VL21
NP1
真空阀
AR
VL22
NP2
真空阀
AR
VL23
NP3
真空阀
AR
VL24
NP4
真空阀
AR
VL25
NP5
真空阀
AR
VL26
NP6
真空阀
AR
VL27
NP7
真空阀
AR
VL28
NP8
真空阀
AR
VL21
NP1
真空阀
BF
VL22
NP2
真空阀
BF
VL23
NP3
真空阀
BF
VL24
NP4
真空阀
BF
VL25
NP5
真空阀
BF
VL26
NP6
真空阀
BF
VL27
NP7
真空阀
BF
VL28
NP8
真空阀
BF
VL21
NP1
真空阀
BR
VL22
NP2
真空阀
BR
VL23
NP3
真空阀
BR
VL24
NP4
真空阀
BR
VL25
NP5
真空阀
BR
VL26
NP6
真空阀
BR
VL27
NP7
真空阀
BR
移载吸头
(
通用吸头
8
吸嘴
)
VL28
NP8
真空阀
BR
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CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-79
选购件部分
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL521
基板侧夹具
(
左
)
A
VL531
基板侧夹具
(
右
)
A
VL921
基板侧夹具
(
左
)
B
主体部
VL931
基板侧夹具
(
右
)
B
VL231
挡板开
AF
VL230
挡板闭
AF
VL431
挡板开
AR
VL430
挡板闭
AR
VLB31
挡板开
BF
VLB30
挡板闭
BF
VLD31
挡板开
BR
吸嘴交换器
(
高速吸头、通用吸头
)
VLD30
挡板闭
BR
VL231
挡板开
AF
VL230
挡板闭
AF
VL431
挡板开
AR
VL430
挡板闭
AR
VLB31
挡板开
BF
VLB30
挡板闭
BF
VLD31
挡板开
BR
吸嘴交换器
(
多功能吸头
)
VLD30
挡板闭
BR
HVL51
切换真空·吹气
AF
HVL52
切换真空·吹气
AF
HVL53
切换真空·吹气
AF
HVL51
切换真空·吹气
AR
HVL52
切换真空·吹气
AR
HVL53
切换真空·吹气
AR
HVL51
切换真空·吹气
BF
HVL52
切换真空·吹气
BF
HVL53
切换真空·吹气
BF
HVL51
切换真空·吹气
BR
HVL52
切换真空·吹气
BR
HVL53
切换真空·吹气
BR
HVL54
切换空气开放·吹气
AF
HVL55
切换空气开放·吹气
AF
HVL56
切换空气开放·吹气
AF
HVL54
切换空气开放·吹气
AR
HVL55
切换空气开放·吹气
AR
HVL56
切换空气开放·吹气
AR
HVL54
切换空气开放·吹气
BF
HVL55
切换空气开放·吹气
BF
HVL56
切换空气开放·吹气
BF
HVL54
切换空气开放·吹气
BR
HVL55
切换空气开放·吹气
BR
移载吸头
(
多功能吸头
)
HVL56
切换空气开放·吹气
BR
HVL57
搭载负荷控制
AF
HVL57
搭载负荷控制
AR
HVL57
搭载负荷控制
BF
对应多功能吸头的装置
HVL57
搭载负荷控制
BR
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CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-80
3.6.3
光电传感器一览表
(PH)
标准部分
(1/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
PH127
Y
轴粗原点
AF
PH327
Y
轴粗原点
AR
PHA27
Y
轴粗原点
BF
PHC27
Y
轴粗原点
BR
PH126
Y
轴
−
超限
AF
PH326
Y
轴
−
超限
AR
PHA26
Y
轴
−
超限
BF
PHC26
Y
轴
−
超限
BR
PH227
编带盖浮起
AF
PH233
编带盖浮起
2
AF
PH427
编带盖浮起
AR
PH433
编带盖浮起
2
AR
PHB27
编带盖浮起
BF
PHB33
编带盖浮起
2
BF
PHD27
编带盖浮起
BR
主体部
PHD33
编带盖浮起
2
BR
PH132
X
轴粗原点
AF
PH332
X
轴粗原点
AR
PHA32
X
轴粗原点
BF
PHC32
X
轴粗原点
BR
PH130
X 轴+超限
AF
PH330
X 轴+超限
AR
PHA30
X 轴+超限
BF
PHC30
X 轴+超限
BR
PH131
X 轴−超限
AF
PH331
X 轴−超限
AR
PHA31
X 轴−超限
BF
PHC31
X 轴−超限
BR
PH133
Y
轴干涉
AF
XY
装置
PHC33
包括
Y
轴干涉
BR
PH520
传送带头部基板检测
A
PH521
基板检测
4
A
PHORG1
宽度调整粗原点
A
基板传送带
L
PHILK1
宽度调整联锁
A
PH921
基板检测
1
B
PHORG2
宽度调整粗原点
B
基板传送带
R
PHILK2
宽度调整联锁
B
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