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iii 3. 페이지 구 성 본서 의 대 표적 인 페 이 지 구 성 을 다음 과 같이 표시 합니 다 . 본문의 구성 스텝보조 스텝 일러스트, 표 타이틀 요점, 주의, 경고문 장 번호 장 타이틀 27 00 1- M9 -00 ■ 스텝 조작의 순 서 를 설 명 합니다 . ■ 스텝보 조 스텝 의 상세 내 용을 설 명 합니다 . ■ 일 러스트 / 표 타 이 틀 일 러 스트와 표의 타이틀을 왼쪽 위 에 …
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2. 각 장의 내용
본서는 다음과 같은 장으로 구성되어 있습니다 .
안전의 길잡이
장비의 사용상 안전에 관한 중요한 내용을 설명합니다 .
읽으시기 전에
매뉴얼의 구성과 보증에 관한 내용을 설명합니다 .
제 1 장 각부의 명칭과 기능
각부의 명칭이나 기능 등 조작을 시작하기 전에 알아두어야 할 사항에 대해서 설명합니다 .
제 2 장 기본적인 조작
검사기의 기동과 종료 방법에 대해서 설명합니다 . 또 , 조작화면의 기본구성에 대해서도 설명합니다 .
제 3 장 일상의 작업
기판을 검사하기 위해 작업자가 일상적으로 실행할 작업에 대해서 설명합니다 .
제 4 장 유지보수
검사기의 트러블을 미연에 방지하기 위해 실행해야 할 일상적인 점검과 정기적인 점거에 대해서 설명합니다 .
제 5 장 급유개소 일람
급유개소의 지시 및 각 축의 볼스크류와 가이드 등의 급유방법에 대해서 설명합니다 .
부록
전원접속이나 기기간 접속을 위한 사양 및 UPS 등이 게재되어 있습니다 .
색인
알고싶은 항목이 어디에 설명되어 있는지를 빨리 찾을 수 있도록 하기 위해 , 본서의 권말에 색인이 준비되어 있습니다 .
