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3-3 3 3. 기 판의 선 택 작성 완료 된 검 사 프로그 램 리 스트에 서 , 검 사할 기판을 선 택 하는 방 법 에 대 해서 설 명 합니 다 . 1 검사 프로 그램 리스 트 로부터 검사할 기판 을 선택합니다 . 리 스트 내 에 있 는 기판을 선 택 하고 , [ 기판선 택 ] 버 튼 을 눌러 주십시 오 . 또 , 리 스트내 의 행 을 직 접 마우 스로 더 블클릭 해서 기 판데이 터 를 로…
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2. 워밍업 운전
검사기를 기동한 후에 , 축의 워밍업 운전을 실행해 주십시오 .
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요점
워밍업 운전의 실행시간은, 15 분 정도면 충분합니다.
단 , 전회의 운전에서 2 시간 이상 경과하지 않았을 경우에는, 워밍업 운전은 필요없습니다.
1
시업전 점검을 하고 , 검사기를 기동합니다 .
시업전 점검항목과 검사기의 기동 방법에 대해서는 , 「제 2 장 기본적인 조작」을 참조해 주십시오 .
2
워밍업 운전을 실행합니다 .
c
주의
워밍업을 실행하기 전에 , 컨베이어상에 기판 등이 없는지 확인해 주십시오 . 또 , 푸쉬업 핀이 있을 경우에는 , 제거해 주십시오 . 워밍업 운
전중에 이상이 발생했을 경우에는 , [ 정지 ] 버튼을 눌러서 운전을 정지시키고 , 원인을 구명하고 , 대책해 주십시오 .
1. [ 워밍업 ] 버튼을 눌러서 워밍업 화면을 표시합니다 .
2. [ 시작 ] 버튼을 눌러서 워밍업 운전을 시작해 주십시오 .
「셋업」화면
워밍업
2
28300-M9-00
n
요점
워밍업 시간을 지정할 경우는 [ 지정시간에 정지 ] 버튼을 눌러서 워밍업 시간을 입력해 주십시오 .
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워밍업 운전을 종료합니다 .
[ 정지 ] 버튼을 눌러서 워밍업 운전을 종료합니다 . 워밍업 운전시간은 보통 15 분정도 실행하면 충분합
니다 .
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[ 닫기 ] 버튼을 눌러서 셋업화면으로 되돌아 갑니다 .
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3. 기판의 선택
작성 완료된 검사 프로그램 리스트에서 , 검사할 기판을 선택하는 방법에 대해서 설명합니다 .
1
검사 프로그램 리스트로부터 검사할 기판을 선택합니다 .
리스트내에 있는 기판을 선택하고 , [ 기판선택 ] 버튼을 눌러 주십시오 . 또 , 리스트내의 행을 직접 마우
스로 더블클릭해서 기판데이터를 로딩할 수도 있습니다 .
c
주의
검사 프로그램을 로딩하면 자동적으로 컨베이어 폭이 기판폭 ( 기판 사이즈 Y) 에 맞춰서 조정되므로 , 기판을 선택하기 전에 미리 푸쉬업
핀을 제거해 두십시오 .
기판의 선택
기판을 선택로딩된 검사 프로그램 기판의 이미지 화상
[기판선택] 버튼
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로딩된 검사 프로그램을 확인합니다 .
로딩된 검사 프로그램명이 스테이터스 에리어에 표시되므로 , 선택한 기판명과 일치하는지 확인해 주십시
오.
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4. 컨베이어 유니트의 셋업
기판 지탱용 푸쉬업 핀을 사용하고 있을 경우 , 전회와 다른 기판을 검사할 때에는 컨베이어 유니트의 셋업전환이
필요합니다 . 컨베이어 폭은 , 검사 프로그램을 로딩했을 때에 자동적으로 조정됩니다 .
여기에서는 , 푸쉬업 핀의 배치순서 및 기판지탱 상태를 확인하는 방법에 대해서 설명합니다 .
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요점
푸쉬업 플레이트를 사용할 경우는, [ 검사데이터 ] 버튼을 눌러서「기판」탭의「푸쉬업 사용」을「일반」또는「고속」으로 설정
해 주십시오 .
█ 푸쉬업 핀 배치의 흐름
기판 반입
기판 선택
푸쉬업 핀을 제거한다
푸쉬업 핀의 높이를 맞춘다
푸쉬업 핀 배치
[푸쉬업] OFF
[푸쉬업] ON
[기판교환] ON
기판 고정상태 확인
[기판교환] ON
기판 반출
비상정지 상태
비상정지 상태
비상정지 해제
비상정지 해제
셋업 작업의 흐름
푸쉬업 핀
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