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8. 1 년 4 - 22 8. 1 W 축 부 4- 22 8. 1 . 1 W 축 볼스크 류 의 청소 • 급유 4 -2 2 8. 1 .2 W 축 가 이 드의 청 소 • 급유 4 -2 3 8. 1 .3 6 각 스플라인 의 청 소 • 급유 4 -2 4 8.2 에어 / 미스 트 필터의 점검 • 청 소 4-2 5 9 . 소모품의 교 환방법 4- 27 9. 1 기판 반 송 부 의 청소 와 벨 트 의 교환…
제 4 장 유지보수
목차
작업하기 전에 4-1
1. 검사기의 성능을 유지하기 위해서는 4-2
1.1 필수조건 및 환경조건 4-2
1.2 정기적인 점검
•
청소의 중요성 4-3
1.3 적절한 습도 관리의 중요성 4-3
2. 유지보수 항목일람 4-4
3. 유지보수 작업의 준비 4-6
3.1 소모품 4-6
3.2 유지보수 툴 4-7
3.2.1 클리닝 툴 4-7
3.2.2 급유 툴
•
구리스 4-8
3.3 필요공구 4-9
4. 매주 4-10
4.1 기판센서의 상태확인 4-10
4.2 기판클램프의 상태
•
동작확인 4-10
5. 매월 4-11
5.1 각 축의 점검 4-11
5.2 볼 스크류와 가이드의 청소
•
급유 4-12
5.2.1 X 축 볼 스크류의 청소
•
급유 4-12
5.2.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 4-13
5.2.3 Y 축 볼스크류의 청소
•
급유 4-14
5.2.4 Y 축 가이드의 청소
•
급유 4-16
5.3 카메라 조명의 청소 4-17
6. 3 개월 4-18
6.1 환기 팬의 필터 4-18
6.2 CZ 축 ( 옵션 ) 볼스크류의 청소
•
급유 4-19
7. 6 개월 4-20
7.1 마킹유닛 ( 옵션 ) 캠 부위의 청소
•
급유 4-20
7.2 컨트롤러의 필터 청소 (TypeHS2 만 ) 4-21
4-1
4
작업하기 전에
유지보수 작업은 , 일반적으로 주 전원을 차단하고 실시합니다 .
그러나 , 작업에 따라서는 , 통전상태에서 비상정지 버튼을 누르고 작업할 경우가 있습니다 .
그럴 경우에는 , 충분히 안전을 확인하고 반드시 비상정지 상태에서 작업해 주십시오 .
또한 , 작업 내용에 따라 축의 이동이나 동작확인이 필요할 경우는 통전상태에서 실시하며 , 충분히 안전을 확인
하고 작업해 주십시오 .
단 , 검사기를 작동시킬 경우에는 , 다음의 조건을 만족시킬 필요가 있습니다 .
█ 동작조건
1. 적정한 에어 공급압에 도달하고 있을 것 .
2. 안전커버가 전부 확실하게 닫혀 있을 것 .
3. 전원이 올바르게 접속되어 있을 것 .