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4-6 4 3 . 유지보 수 작업의 준비 3 .1 소 모품 본 서 에 서 의 소모 품이 란 , 사 용 하는 동안 에 서 서 히 기 능 이 상 실 될 가능 성 이 있 는 부품을 말 합 니 다 . 다음 의 부품 이 소모 품 으로서 준 비 되 어 있 사 오 니 , 유 지 보 수 시 필 요 에 따 라 서 교 환 해 주 십 시 오 . █ 소 모품 리스트 ( 옵 션 구입품 ) 명칭 부 품 명칭 부 품 …

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장비내 진단 스테이션에 대해서
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주의
검사기 내에는 , 다음 그림과 같은 카메라 체크 스테이션이 있습니다 .
이 카메라 체크 스테이션상에는 카메라의 조명확인 플레이트 /3D 인 플레이트 등을 체크하기 위한 지그가 있으며 , 정기적로 카메라
의 상태를 자동으로 확인합니다 . 이 조명 플레이트 /3D 인 플레이트를 청소할 때에는 , 용제는 절대로 사용하지 마십시오 . 용제 등
용하면 플레이트의 표면이 변색해 , 확인동작이 올바르게 실행되지 않을 우려가 있습니다 .
청소시에는 , 광학계 브러시 등으로 먼지를 털어내거나 , 마른 헝겊 등으로 가볍게 닦아 주십시 .
카메라 체크 스테이션
조명 플레이트 (2색판)
조명 플레이트(백색판)
3D 확인 플레이트
조명 플레이트 [2색판]
[YSi-12 카메라 체크 스테이션] [YSi-V 카메라 체크 스테이션(3D 옵션)]
57435-M9-00
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3. 유지보작업의 준비
3.1 모품
소모품이 , 하는 동안가능부품을 .
다음부품소모으로서 , .
모품 리스트 ( 구입품 )
명칭 명칭 번호
기판 반송벨트 ( 싱글레인 ) BELT 1, CONVEYOR KLT-M9127-00X
기판 반송벨트 ( 듀얼레인 ) BELT 1, CONVEYOR KKT-M9127-00X
에어 필터 엘레멘트 FILTER ELEMENT KLC-M8506-00X
오일 미스필터 엘레멘트 MIST FILTER ELEMENT KLC-M8507-00X
환기팬 필터 FILTER,CP FAN KLF-M115J-00X
컨트롤러부 필터 FILTER K L C- M 4 21L- 0 0X
UPS 페어 배터 BAT TERY,U PS2 LG0-M53H8-01X
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주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부 ( 품번호 ) 은 발행시의 것입니다 .
품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 확인하여 주십시오 .
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3.2 유지보수
3.2.1 클리닝
클리닝 툴
동봉품
광학계 청소용 면봉광학계 브러시 렌즈 클리너, 클리닝 페이퍼
CLEANER, VISION SET
574 0 0-M9-10
클리닝 툴 리스
동봉품
명칭 명칭 번호 비고
광학계 청소용 면봉 SWAB KGA-M3802-00X
CLEANER, VISION SET
(KHW-M3801-A0X)
광학계 브러시 BLOWER KGA-M3803-00X
렌즈 클리너 , 클리닝 페이퍼 CLEANER, LENS KGA-M3801-00X
클리닝 툴
옵션 구입품
버큠 ASSY 에어 블로우 툴
57401-M9-00
클리닝 공리스
옵션
명칭 명칭 번호 비고
버큠 ASSY VACUUM ASSY KHY-M88V0-A0X 청소 ( 버큠 )
에어블로우 AIR BLOW TOOL KU4-M8590-00X
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주의
품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 확인하여 주십시오 .