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4-10 4 4. 매주 4 . 1 기판 센 서 의 상태확인 본 검 사 기 에 서 는 기 판 센 서 로서 투 과 형 화이 버 센 서 를 사 용 하 고 있 습 니 다 . 다음 과 같 이 컨 베 이 어 레 일 폭을 변 경 해 서 센 서 가 정 확 하 게 동작 하는 지 확 인 해 주 십 시 오 . 1 「컨베이어」 대 화 창 을 표 시 합 니다 . [ 장 치 ]- 「 컨베이어」 탭 을 눌 러서 「컨베…

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3.3 필요공
아래하여 주십 .
리스트
: 동봉 부속품 : 옵션 구입품
명칭 적용 비고
십자 드라이버 대•소 D-2
일자 드라이버 대•소
육각렌치 세트 1 세트 HEX, WRENCH SET
핀셋 볼스크류나 가이드에 부착되어 있는 이물제거에 사용합니다 .
구리스건 구리스 보급용
에어 블로우 청소용
버큠 ASSY 피더 플레이트 상면을 청소합니다 .
기타 리스
: 동봉 부속품 : 옵션 구입품
명칭 적용
NSL 구리스 ( 동봉 ) 각 축의 구리스 보급에 용합니다 .
닦기용 와이퍼 필터컵의 청소 등에 용합니다 .
종이 와이퍼 지가 나지 않는 ( 크린륨 용 ) 준비하주십시오 .
사각건 ( 사각 헝겊 ) 품의 분실이더러움을 방지하기 위해 용합니다 . (2 )
광학계 청소용 면봉 카메라의 렌즈와 반투명 유리 및 조명 청소에 용합니다 .
렌즈 클리너 , 클리닝 페이퍼 카메라의 렌즈와 조명 청소 에 사용합니다 .
광학계 브러시 카메라 렌즈와 조명 등의 청소에 사용합니다 .
얇은 브러시 ( ) 벨트의 등의 청소에 사용합니다 .
안전 호구
명칭 적용
방진 안경
구리스를 포할 때나 에어 블로우 툴로 에어 블로우를 때는 반드시 착용하주십시 .
방진 마스
장갑 구리스를 포하거나 , 광학 메라커버를 탈착할 때는 반드용해 주십시 .
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4
4. 매주
4.1 기판상태확인
로서 화이. 다음폭을
동작하는 .
1
「컨베이어」니다 .
[ ]-컨베이어」 러서「컨베이어」
열어 주십시 .
2
[ 변경 ] 릅니 .
1. 컨베변경 창이 표시되므로 ,「변경
후의 폭」최대 컨베폭을
[OK] 버튼르면 , 컨베폭이
즈로 변경 .
2. 같은 식으로변경후의 컨베이어 란에
컨베이어 (50mm) 입력하고 [OK]
튼을 눌러 주십시 .
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상태인합니다 .
컨베이어 폭을 변경 , 메시
되지 않으 , 이어 센서정상적으로 동작
으므로 , 이상 조정할 필요가 습니 .
메시표시되면 , 같이 센서
주십시 .
컨베이어 센서의 조정방법
컨베이어 폭을 변경발생하면 , 컨베
센서자동 튜닝합니 .
1. [ 장치 ]-「I/O탭 화표시합니다 .
2. 출력 모니터 (Output) 스트에이어 센서
」(T01000E0) 주십시 .
n
요점
얼 레의 경우는 (T01000E0) 이 레 1, (T01000E2)
2 가 됩.
3. [ON/OFF] 버튼으로 0(OFF) 1(ON) → 0(OFF)
환해서 동튜합니 .
4. 재차 [ 변경 ] 튼을 눌러서 Step2 식으
컨베이어 폭을 변경해서 , 에러 메시표시되
않으 , 센서정상적으로 동작하고 있습니 .
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4.2 클램프의
작확
판의 클램상태에 관해항목을 확인해 주십 .
1. 기판클램프 했을 때에 , 기판에 반동 ( 덜컹거 ) 없을 .
2. 기판클램프 때에 , 기판누름 이트기판과의 사이에 틈새가 없을 .
3. 기판클램프 때에 , 컨베이어 레일 상면과 기판과의 단차가 발생하않을 .
4. 기판 클램프 유니트동작원활하게 작동할 .
컨베이어 폭의 변경
여기에 수치를 입력한다
Step 2
컨베이어 센서의 튜닝
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4
5. 매월
5.1 축의
스크 .
다음.
n
요점
각 축는 구리스 비지 커가 부착어 있. 점는 커를 탈한 후, 점작업을 실고 점이 완면 커
로 부착해 주십 .
점검 포인트
1. 볼스크가이드물질부착되어 않는 ?
2. 볼스크가이드상의 구리상태는 ?
구리스가 흘러내리거어서 묻어있않거나 , 또는 색되굳어않은하여 .
e
3. 볼스크류에서 상한 소리않는 ?
비상정튼을 누른 에서 , X 또는 Y 축을 으로 밀어봐서 상한 소리않는확인주십시 .
대처
1. 물질 등이 끼이볼스크가이드손상시키원인므로 , 착되경우는 구리스채 닦아내거
핀셋 등으로 제거 .
2. 후술의「청소
급유」방법을 참조해서 구리스업주십시 .
3. 상기1. 2. 대처실행상한 소리우에는 야마하 리점주십시 .
c
주의
구리스의 사용에 관해서 , 본 장 3.2.2 급유 스」 의 주의 사항을 읽어 주십시오 .
각 축의 볼 스류나 가이드로부터의 이음 등이 발생할 경우에는 판매 대리점 또는 야마하로 연락해 주십시오 .
자체적인 분해청소로 인해 발생한 트러블은 보장 대상이 안됩니다 .