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4-1 1 4 5. 매월 5 . 1 각 축의 점 검 각 축 의 볼 스크 류 및 가 이 드 를 점 검 해 주 십 시 오 . 점 검 포 인 트 는 다음 과 같 습 니 다 . n 요점 각 축 에 는 구리 스 비 산 방 지 커 버 가 부착 되 어 있 습 니 다 . 점 검 시 에 는 커 버 를 탈 착 한 후 , 점 검 작업 을 실 시 하 고 점 검 이 완 료 되 면 커 버 를 원 상 태 로 부 착해 …
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4
4. 매주
4.1 기판센서의 상태확인
본 검사기에서는 기판센서로서 투과형 화이버 센서를 사용하고 있습니다. 다음과 같이 컨베이어 레일 폭을 변경
해서 센서가 정확하게 동작하는지 확인해 주십시오 .
1
「컨베이어」대화창을 표시합니다 .
[ 장치 ]-「컨베이어」탭을 눌러서「컨베이어」화면
을 열어 주십시오 .
2
[ 폭 변경 ] 버튼을 누릅니다 .
1. 컨베이어 폭 변경 대화창이 표시되므로 ,「변경
후의 컨베이어 폭」란에 최대 컨베이어 폭을 입
력하고 [OK] 버튼을 누르면 , 컨베이어 폭이 지
정된 사이즈로 변경됩니다 .
2. 같은 식으로「변경후의 컨베이어 폭」란에
최소 컨베이어 폭 (50mm) 을 입력하고 [OK]
버튼을 눌러 주십시오 .
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3
상태를 확인합니다 .
컨베이어 폭을 변경했을 때에 , 에러 메시지가 표
시되지 않으면 , 컨베이어 센서는 정상적으로 동작
하고 있으므로 , 더이상 조정할 필요가 없습니다 .
에러 메시지가 표시되면 , 다음과 같이 센서를 조
정해 주십시오 .
█
컨베이어 센서의 조정방법
컨베이어 폭을 변경했을 때 에러가 발생하면 , 컨베이어
센서의 자동 튜닝을 실행합니다 .
1. [ 장치 ]-「I/O」탭 화면을 표시합니다 .
2. 출력 모니터 (Output) 의 리스트에서「컨베이어 센서
튜닝」(T01000E0) 을 선택해 주십시오 .
n
요점
듀얼 레인의 경우는 (T01000E0) 이 레인 1, (T01000E2) 가
레인 2 가 됩니다.
3. [ON/OFF] 버튼으로 0(OFF) → 1(ON) → 0(OFF) 을
전환해서 자동튜닝을 실행합니다 .
4. 재차 [ 폭 변경 ] 버튼을 눌러서 Step2 와 같은 식으
로 컨베이어 폭을 변경해서 , 에러 메시지가 표시되지
않으면 , 센서가 정상적으로 동작하고 있습니다 .
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4.2 기판클램프의 상태
•
동작확인
기판의 클램프 상태에 관해서 다음의 항목을 확인해 주십시오 .
1. 기판을 클램프 했을 때에 , 기판에 반동 ( 덜컹거림 ) 이 없을 것 .
2. 기판을 클램프 했을 때에 , 기판누름 플레이트와 기판과의 사이에 틈새가 없을 것 .
3. 기판을 클램프 했을 때에 , 컨베이어 레일 상면과 기판과의 단차가 발생하지 않을 것 .
4. 기판 클램프 유니트의 동작이 원활하게 작동할 것 .
컨베이어 폭의 변경
여기에 수치를 입력한다
Step 2
컨베이어 센서의 튜닝
3
2
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4
5. 매월
5.1 각 축의 점검
각 축의 볼스크류 및 가이드를 점검해 주십시오 .
점검 포인트는 다음과 같습니다.
n
요점
각 축에는 구리스 비산방지 커버가 부착되어 있습니다. 점검시에는 커버를 탈착한 후, 점검작업을 실시하고 점검이 완료되면 커버를
원상태로 부착해 주십시오 .
점검 포인트
1. 볼스크류 및 가이드상에 이물질이 부착되어 있지 않는가 ?
2. 볼스크류 및 가이드상의 구리스 상태는 적절한가 ?
구리스가 흘러내리거나 튀어서 전혀 묻어있지 않거나 , 또는 변색되어 굳어있지 않은지 상태를 확인하여 주십시오 .
e
3. 볼스크류에서 이상한 소리는 나지 않는가 ?
비상정지 버튼을 누른 상태에서 , X 축 또는 Y 축을 손으로 밀어봐서 이상한 소리가 나지 않는지 확인하여 주십시오 .
대처 방법
1. 이물질 등이 끼이게 되면 볼스크류 및 가이드를 손상시키는 원인이 되므로 , 부착되어 있을 경우는 구리스채 닦아내거나
핀셋 등으로 제거하여 주십시오 .
2. 후술의「청소
•
급유」방법을 참조해서 구리스업을 해 주십시오 .
3. 상기의 1. 과 2. 의 대처방법을 실행해도 이상한 소리가 날 경우에는 야마하 또는 대리점으로 연락해 주십시오 .
c
주의
•
구리스의 사용에 관해서는 , 본 장 「3.2.2 급유 툴 • 구리스」 의 주의 사항을 읽어 주십시오 .
•
각 축의 볼 스크류나 가이드로부터의 이음 등이 발생할 경우에는 판매 대리점 또는 야마하로 연락해 주십시오 .
자체적인 분해청소로 인해 발생한 트러블은 보장 대상이 안됩니다 .
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5.2 볼 스크류와 가이드의 청소
•
급유
각 축의 볼스크류나 가이드의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 ,
「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
5.2.1 X 축 볼 스크류의 청소
•
급유
█ 준비물
•
십자 드라이버
•
종이 와이퍼 ( 먼지가 나지 않는 것 )
•
구리스 건
•
지정 구리스 (NSL)
•
보호 안경
•
보호 장갑
c
주의
구리스를 사용할 경우는 , 반드시 보호 안경과 보호 장갑을 착용하고 실시해 주십시오 .
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을 안전하게 실행하기 위해 , 반드시 장비를
비상정지 상태로 해 주십시오 .
2
구리스 비산방지 커버를 탈착합니다 .
1. 십자 드라이버로 구리스 비산방지 커버 좌측의
커버 고정나사를 빼 주십시오 .
2. 헤드를 좌측 끝까지 이동시키고 , 십자 드라이
버로 구리스 비산방지 커버 우측의 커버 고정
나사도 빼 주십시오 .
3. 구리스 비산방지 커버를 우측으로 당겨서 빼
주십시오 .
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3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸 용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
2. 축을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의 볼스
크류도 닦아 주십시오 .
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요점
청소 작업시에는 , 볼스크류의 리드홈도 정성스럽게 닦아 주십
시오 . 또한 이물질이 없는지 확인해 주십시오 .
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구리스를 급유합니다 .
구리스건을 준비하고 , 구리스 니플로부터 지정
구리스 (NSL) 를 주입해 주십시오 . 축을 손으로
움직인 후 , 여분의 구리스를 닦아 주십시오 .
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커버를 원상태로 부착합니다 .
구리스 비산방지 커버를 분리했을 때와 반대순으
로 부착시켜 주십시오 .
X축 구리스 비산방지 커버의 탈착
커버 고정나사
Step 2
X축 볼스크류의 청소
Step 3
X축 볼스크류
종이 와이퍼
X축 볼스크류의 급유
Step 4
X축 볼스크류 구리스 니플