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4-16 4 5 .2.4 Y 축 가이드의 청소 • 급유 █ 준비물 • 종이 와 이 퍼 ( 먼 지가 나지 않 는 것 ) • 구리 스 건 • 지정 구리 스 (NS L) • 보호 안 경 • 보호 장갑 c 주의 구리스를 사 용할 경 우는 , 반드시 보 호 안경과 보 호 장갑을 착용 하고 실시해 주십시오 . e 1 비상 정지 버튼 을 누 릅 니다 . 작 업 을 안전 하게 실행 하 기 위 해 , 반드시…

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4
4
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 이동핸들을 잡고 Y 축을 뒤쪽으로 이동시킵니
다.
2. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸 용 ) 등으로 오래된 구리스나 더러
움을 닦아냅니다 .
3. Y 축을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의 볼
스크류도 닦습니다 .
n
요점
청소 작업시에는 , 볼스크류의 리드홈도 정성스럽게 닦아 주십
시오 . 또한 이물질이 없는지 확인해 주십시오 .
5
구리스를 도포합니다 .
구리스건을 준비하고 , 왼쪽 그림의 구리스 니플로
부터 지정 구리스 (NSL) 를 주입해 주십시오 .
축을 손으로 움직인 후 , 여분의 구리스를 닦아 주
십시오 .
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커버를 원상태로 부착합니다 .
구리스 비산방지 커버를 분리했을 때와 반대순으
로 부착시켜 주십시오 .
Y축 볼스크류의 급유
Step 5
Y축 볼스크류 구리스 니플
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4
5.2.4 Y 축 가이드의 청소
•
급유
█
준비물
•
종이 와이퍼 ( 먼지가 나지 않는 것 )
•
구리스 건
•
지정 구리스 (NSL)
•
보호 안경
•
보호 장갑
c
주의
구리스를 사용할 경우는 , 반드시 보호 안경과 보호 장갑을 착용하고 실시해 주십시오 .
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을 안전하게 실행하기 위해 , 반드시 장비를
비상정지 상태로 해 주십시오 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 이동핸들을 잡고 Y 축을 뒤쪽으로 이동시킵니
다.
2. 가이드 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이퍼
( 크린룸 용 ) 등으로 오래된 구리스나 더러움을
닦습니다 .
3. Y 축을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의
가이드도 닦습니다 .
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n
요점
가이드 레일의 이동홈도 정성스럽게 닦아 주십시오 .
3
구리스를 주입합니다 .
구리스건을 사용해서 , Y 축 가이드용 구리스 니플
로부터 지정 구리스 (NSL) 를 주입합니다 . 구리스
니플은 , 왼쪽 그림과 같이 좌우에 1 개씩 있습니
다 . ( 전후 합계 4 군데 )
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4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
손으로 축을 수차례 이동시킨 후 , 여분의 구리스
를 닦아 냅니다 .
Y축 가이드의 청소
Step 2
Y축 가이드
종이 와이퍼
Y축 가이드의 급유
Step 3
Y축 가이드 구리스 니플 (4군데)
정면
배면
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5.3 카메라 조명의 청소
광학 검사 카메라의 조명에 먼지 등이 부착되어 있으면 , 검사인식 에러의 원인이 될 경우가 있습니다. 이를 방지
하기 위해 정기적으로 점검•청소하실 것을 권장합니다.
c
주의
청소시 , 카메라 각부에 강한 힘을 주지 않도록 주의하여 주십시오 . 카메라의 광축 조정에 오류가 생길 수 있습니다 .
█
준비물
•
십자드라이버
•
종이와이퍼 ( 먼지가나지않는것 )
•
납전용보호장갑
•
광학계브러시
1
검사기의 전원을 OFF 합니다 .
작업을안전하게실시하기위해 ,반드시검사기의
전원을OFF 상태로해주십시오 .
c
주의
검사기의 전원이 ON 인 상태에서 작업을 실시하면 , 쇼트 등이
발생해서 , 고장이나 트러블의 원인이 될 경우가 있습니다 .
2
확산판을 탈착합니다 .
십자드라이버로확산판고정나사 (5 개 ) 를분리
하고 ,확산판을탈착해주십시오 .
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c
주의
확산판 고정나사를 분리할 때에는 , 스페이서를 분실하지 않도록
주의해 주십시오 .
3
확산판을 청소합니다 .
확산판전체의더러움을종이와이퍼로깨끗하게
닦아주십시오 .
4
광학 카메라의 조명을 청소합니다 .
광학계브러시로광학카메라조명내의먼지를
털어주십시오 .
더러움이심할경우는 ,클리닝페이퍼에렌즈클리
너를몇방울적셔서닦습니다 .
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확산판을 장착합니다 .
확산판을탈착했을때와반대순으로원위치에
장착해주십시오 .
확산판의 탈착
Step 2
확산판 고정나사 (5개)
스페이서 (5장)
확산판
광학 카메라 조명의 청소
Step 4
광학계 브러시
카메라 조명