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4-17 4 5.3 카메라 조명 의 청소 광 학 검 사 카 메 라 의 조 명 에 먼 지 등 이 부 착 되 어 있 으 면 , 검 사 인 식 에 러 의 원 인 이 될 경 우 가 있 습 니 다 . 이 를 방 지 하 기 위 해 정 기 적 으로 점 검• 청 소 하실 것 을 권 장 합 니 다 . c 주의 청소 시 , 카메라 각부에 강 한 힘을 주지 않 도록 주의하여 주십 시오 . 카메라의 광축 조정에 …

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4
5.2.4 Y 축 가이드의 청소
•
급유
█
준비물
•
종이 와이퍼 ( 먼지가 나지 않는 것 )
•
구리스 건
•
지정 구리스 (NSL)
•
보호 안경
•
보호 장갑
c
주의
구리스를 사용할 경우는 , 반드시 보호 안경과 보호 장갑을 착용하고 실시해 주십시오 .
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을 안전하게 실행하기 위해 , 반드시 장비를
비상정지 상태로 해 주십시오 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 이동핸들을 잡고 Y 축을 뒤쪽으로 이동시킵니
다.
2. 가이드 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이퍼
( 크린룸 용 ) 등으로 오래된 구리스나 더러움을
닦습니다 .
3. Y 축을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의
가이드도 닦습니다 .
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n
요점
가이드 레일의 이동홈도 정성스럽게 닦아 주십시오 .
3
구리스를 주입합니다 .
구리스건을 사용해서 , Y 축 가이드용 구리스 니플
로부터 지정 구리스 (NSL) 를 주입합니다 . 구리스
니플은 , 왼쪽 그림과 같이 좌우에 1 개씩 있습니
다 . ( 전후 합계 4 군데 )
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4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
손으로 축을 수차례 이동시킨 후 , 여분의 구리스
를 닦아 냅니다 .
Y축 가이드의 청소
Step 2
Y축 가이드
종이 와이퍼
Y축 가이드의 급유
Step 3
Y축 가이드 구리스 니플 (4군데)
정면
배면
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4
5.3 카메라 조명의 청소
광학 검사 카메라의 조명에 먼지 등이 부착되어 있으면 , 검사인식 에러의 원인이 될 경우가 있습니다. 이를 방지
하기 위해 정기적으로 점검•청소하실 것을 권장합니다.
c
주의
청소시 , 카메라 각부에 강한 힘을 주지 않도록 주의하여 주십시오 . 카메라의 광축 조정에 오류가 생길 수 있습니다 .
█
준비물
•
십자드라이버
•
종이와이퍼 ( 먼지가나지않는것 )
•
납전용보호장갑
•
광학계브러시
1
검사기의 전원을 OFF 합니다 .
작업을안전하게실시하기위해 ,반드시검사기의
전원을OFF 상태로해주십시오 .
c
주의
검사기의 전원이 ON 인 상태에서 작업을 실시하면 , 쇼트 등이
발생해서 , 고장이나 트러블의 원인이 될 경우가 있습니다 .
2
확산판을 탈착합니다 .
십자드라이버로확산판고정나사 (5 개 ) 를분리
하고 ,확산판을탈착해주십시오 .
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c
주의
확산판 고정나사를 분리할 때에는 , 스페이서를 분실하지 않도록
주의해 주십시오 .
3
확산판을 청소합니다 .
확산판전체의더러움을종이와이퍼로깨끗하게
닦아주십시오 .
4
광학 카메라의 조명을 청소합니다 .
광학계브러시로광학카메라조명내의먼지를
털어주십시오 .
더러움이심할경우는 ,클리닝페이퍼에렌즈클리
너를몇방울적셔서닦습니다 .
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5
확산판을 장착합니다 .
확산판을탈착했을때와반대순으로원위치에
장착해주십시오 .
확산판의 탈착
Step 2
확산판 고정나사 (5개)
스페이서 (5장)
확산판
광학 카메라 조명의 청소
Step 4
광학계 브러시
카메라 조명
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6. 3 개월
6.1 환기 팬의 필터
필터의 청소를 소홀히 하면 , 필터가 막혀서 장비 내부의 온도상승을 일으킬 수 있습니다.
이는 검사기의 기능저하와 수명을 단축시키는 원인이 될 수 있으므로 , 각 필터의 청소를 실시해 주십시오 .
청소할 필터는 1 종류이며, 다음 그림과 같이 정면과 배면의 2 군데에 설치되어 있습니다.
필터 설치 장소
검사기 정면
필터
검사기 배면
필터
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█
필터의 청소방법
1
작업의 준비를 합니다 .
1. 장비의 전원을 차단하고 , 안전커버를 열어
주십시오 .
2. 필터청소에 사용할 청소기를 준비합니다 .
2
필터를 분리합니다 .
우측 그림과 같이 필터를 분리해 주십시오 .
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3
필터를 청소합니다 .
청소기로 필터의 먼지 등을 흡인해 주십시오 .
c
주의
물로 필터를 청소하면 , 먼지가 수분에 의해 뭉쳐서 막힘을
유발하게 되므로 , 청소기로 청소해 주십시오 .
n
요점
더러움이 심하거나 노화상태가 심할 경우는 , 새 필터로 교환
해 주십시오 .
4
필터를 원상태로 장착합니다 .
분리했을 때와 반대순으로 필터를 장착해 주십시
오.
필터의 분리
■ 정면측 필터
■ 배면측 필터
Step 2
손잡이
필터
손잡이
필터