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4-26 4 4 필터 컵 안 의 더러움 을 청소합니 다 . 1 . 컵 안 을 가 볍 게 물 로 씻어 냅니 다 . 2. 물을 탄 중 성세 제 로 재 차 컵안을 씻 습니 다 . 3. 에 어 블 로우 툴로 블로 우 한 후 , 와이퍼 등으 로 수분을 닦 아 주십시 오 . 5 필터 엘 레멘 트를 분리합니다 . 에어 필 터 배플을 우측 그 림과 같 은 방향으로 돌려서 엘레멘트 어셈블 리로부 터 분 리합…

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4
8.2 에어 / 미스트 필터의 점검
•
청소
에어 컴프레서내의 오일 , 물, 불순물 등이 검사기내에 유입되지 않도록, 에어 / 미스트 필터가 사용되어
있습니다. 이들 필터의 점검•청소 방법에 대해서 다음과 같이 설명합니다.
c
주의
작업을 안전하게 실시하기 기 위해서 에어 커플러를 분리해 둡니다 . 이 때 , 오일 , 물 , 불순물이 튀지 않도록 주의해 주십시오 .
또한 , 커플러를 분리할 때에는 , 큰 배기음이 발생하므로 , 주의해 주십시오 .
█
준비물
•
중성세제
•
에어 블로우 툴 ( 옵션 구입품 )
•
닦기용 와이퍼
•
일자 정밀 드라이버
•
육각렌치 (2.5mm)
•
방진 안경
•
방진 마스크
c
주의
에어 블로우 청소시 , 얼굴에 맞닿을 경우가 있으므로 반드시 방진 안경과 방진 마스크를 착용하고 작업해 주십시오 .
1
필터 컵 안을 체크합니다 .
컵 안에 오일 또는 물이 들어 있는지 확인해 주십
시오 . 더러워져 있을 경우는 , 다음의 순서에 따라
서 청소해 주십시오 .
2
에어 / 미스트 필터를 분리시킵니다 .
1. 육각렌치 (2.5) 로 볼트를 느슨하게 합니다 .
2. 핀을 밑으로 내려서 브라켓을 떼어내고
에어 / 미스트 필터를 분리시켜 주십시오 .
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3
필터컵을 탈착합니다 .
에어 필터
1. 우측 그림과 같이 에어 필터를 좌측으로 돌려
서 밑으로 당겨서 빼 주십시오 .
2. 디플렉터의 스냅 핏 부근의 홈에 마이너스 정
밀 드라이버를 끼워서 , 필터 컵으로부터 엘레
멘트 어셈블리를 탈착합니다 .
미스트 필터
우측 그림과 같이 필터 컵을 좌측으로 돌려서
밑으로 당겨서 빼 주십시오 .
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에어/미스트 필터 컵의 분리
Step 2,3
필터 캡
에어 커플러를 분리
에어 필터
핀
볼트
브라켓
오일 미스트 필터
엘레멘트 어셈블리의 분리
Step 3
디플렉터
스냅 핏
필터 컵
<에어 필터>
일자 정밀 드라이버

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4
4
필터 컵 안의 더러움을 청소합니다 .
1. 컵 안을 가볍게 물로 씻어냅니다 .
2. 물을 탄 중성세제로 재차 컵안을 씻습니다 .
3. 에어 블로우 툴로 블로우 한 후 , 와이퍼 등으
로 수분을 닦아 주십시오 .
5
필터 엘레멘트를 분리합니다 .
에어 필터
배플을 우측 그림과 같은 방향으로 돌려서
엘레멘트 어셈블리로부터 분리합니다 .
미스트 필터
필터 엘레멘트를 우측 그림과 같은 방향으로
돌려서 분리합니다 .
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6
필터 엘레멘트의 상태를 확인합니다 .
더러움이나 막힘 등이 없는지 확인해 주십시오 .
더러움이 심할 경우는 , 소모품 리스트에 있는 필
터 엘레멘트로 교환해 주십시오 .
7
필터 엘레멘트와 컵을 장착합니다 .
탈착했을 때와 반대순으로 , 필터 엘레멘트와 필터
컵을 장착해 주십시오 .
8
에어 커플러를 장착합니다 .
에어 커플러를 접속하고 , 에어 누출이 없는지
확인해 주십시오 .
필터 엘레멘트의 분리
Step 5
오일 미스트 필터
에어 필터
배플(baffle)

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4
9. 소모품의 교환방법
9.1 기판 반송부의 청소와 벨트의 교환
█
준비물
•
육각렌치 3mm, 4mm, 5mm
•
닦기용 와이퍼
•
얇은 브러시
•
새로운 벨트
•
사각건
e
1
비상정지 버튼을 누릅니다 .
작업을 안전하게 하기 위해 , 반드시 장비를 비상
정지 상태로 해 주십시오 .
2
검사기의 정면 안전커버를 오픈합니다 .
3
벨트를 느슨하게 합니다 .
1. 사각건을 가이드와 볼스크류의 위에 깔아둡니
다.
2. 우측 그림과 같이 육각렌치 (4, 5) 로 텐션 풀
리를 풀어서 , 긴 구멍 끝까지 ( 푸는 방향 ) 이
동시켜 주십시오 .
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4
벨트를 분리합니다 .
1. 육각렌치 (3) 로 벨트 구동용 풀리의 볼트를
풀고 , 샤프트를 풀리로부터 당겨서 틈새를
만듭니다 .
2. 벨트를 풀리로부터 분리해서 샤프트와의 틈새
로부터 빼내어 주십시오 .
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5
기판 클램프 보드를 탈착합니다 .
육각렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정볼트 (4
군데 ) 를 풀어서 기판 클램프 보드를 탈착해 주십
시오 .
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벨트의 텐션 풀기
Step 3
텐션 풀리
육각렌치(4)
육각렌치(5)
샤프트의 분리
Step 4
샤프트 구동용 풀리
이 틈새로 벨트를 뺀다
기판 클램프 보드의 탈착
Step 5
기판 클램프 보드 고정볼트
기판 클램프 보드