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4-28 4 6 컨베이어에 서 벨 트를 분리합 니다 . 7 반 송 부 를 청 소합니다 . 컨베 이어 프레 임 과 기 판가이 드의 틈새 를 얇은 브 러시 , 또는 닦 기 용 와이퍼 로 청 소 하 여 주십시 오 . 8 새로 운 벨 트를 장 착 합니다 . 1 . 새 벨트 를 풀리 에 걸 면서 벨 트 를 임 시 장착하 여 주십시 오 . 2. 샤프트 를 풀리 에 접 속 시켜 볼트 를 끼 워 주십시 오…

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4
9. 환방법
9.1 기판 부의 청소트의
준비물
육각3mm, 4mm, 5mm
닦기이퍼
얇은 브러시
새로운 벨트
각건
e
1
비상정지 버튼니다 .
안전하게 하기 , 반드시 장
주십시 .
2
검사기의 정면 커버를 오픈합니다 .
3
트를 느슨하게 합니다 .
1. 각건드와 볼스크류위에 깔아둡니
다.
2. 우측 림과 같육각 (4, 5) 텐션
풀어서 , 구멍 ( 푸는 방향 )
시켜 주십시오 .
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4
트를 분리합니다 .
1. 각렌치 (3) 벨트 구동풀리
, 샤프트풀리부터 당겨서 틈새
니다 .
2. 풀리부터 분리해서 프트와의 틈새
부터 빼내주십시 .
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5
기판 클램드를 탈착합니다 .
육각 (3) 클램프 보드 (4
군데 ) 풀어서 기판 클램프 보드탈착해
시오 .
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벨트의 텐션 풀기
Step 3
텐션 풀리
육각렌치(4)
육각렌치(5)
샤프트의 분리
Step 4
샤프트 구동용 풀리
이 틈새로 벨트를 뺀다
기판 클램프 보드의 탈착
Step 5
기판 클램프 보드 고정볼트
기판 클램프 보드
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4
6
컨베이어에트를 분리합니다 .
7
소합니다 .
컨베이어 프레판가이드의 틈새얇은
러시 , 또는 와이퍼주십시 .
8
새로트를 합니다 .
1. 벨트풀리면서 장착하
주십시 .
2. 샤프트풀리시켜 볼트주십시
오.
3. 텐셔시켜텐션가하면서
조여 주십시 .
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참고
트 텐의 적은 다음과 같.
:150~180Hz
:138mm
c
주의
벨트 텐셔너 ( 풀리 ) 의 체결 토크는 , 반드시 5.5N
m 로 설
정해 주십시 .
9
기판클램드를 합니 .
1. 기판클램프 보드를 치에 부착하고 고정
트로 임시 고정합니 .
2. [ 장치 ]-이어」화면의 [ 기판클램프 ]
튼을 눌러서 클램프시상태에서 임시
조여 주십시 .
c
주의
조정 작업은 에어를 공급하고 기판 클램프를 올린 상태에서 실행
하여 주십시오 .
0
트의 장착상태인합니다 .
1. [ 장치 ]-이어」화면의 [ 기판클램프 ]
튼을 눌러서 클램 .
, 클램단의 치가 벨트 윗면보다
0.5mm 낮은 치에 있는확인주십
시오 .
2. [ 장치」-이어화면의 [ 컨베이어 구동 ]
으로 회전시켜 동작상태
주십시 .
3. 이어 벨트의 회전르지 하거
우는 , 텐셔트의
조정 , 다시 회전하면서 조정
주십시 .
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벨트의 장착
Step 8
텐션 측정 장소
138 mm
스팬 길이
벨트의 장착상태 확인
Step 10
기판 클램프 보드
0.5 mm
기판 클램프
벨트 상면
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9.2 UPS( 무정전 전원장치 ) 배터리의
UPS . 사용( )
으므 , 으로 요가 .
UPS UPS 동봉주십 .
n
요점
UPS 를 교을 때 , UPS 체 및 메치 좌측에 부어 있는 씰의 기란에 교한 날짜를 기해 주십 .