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39 0709 - 001 11 . 3 点検 / 清掃 / 給油 か 所 11 . 3 . 3 装着 ヘッド リニアガイド(3か所) 3か月毎 給油 (ダフニーエポネックスグリースNo.1) 新しいグリースをシリンジで塗布して ください。 給油は、初回1か月後、以降3か月ごと に行ってください。 使用するノズルはNo.19(茶) です。 センサにグリスがつかない よう注意しながらグリスを 塗ってください。 受け皿(3か所) 3か月毎 …

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11.3 点検 / 清掃 / 給油か所
11.3.2 吸着ノズル
吸着ノズル内部
毎月 清掃
吸着穴からエアを吹付けてください。
吸着ノズルの穴
毎月 清掃
吸着穴からエアを吹付けてください。
吸着ノズル先端
毎月 清掃
ウエスを使用して清掃してください。
拡散板
拡散板(上面)
毎週 点検、清掃
拡散板の上面にゴミやホコリが付着し
ていないか点検してください。拡散板
の上面にゴミやホコリが付着していた
場合、レンズクリーナクロスで拭取っ
てください。
溶剤およびエタノールは絶対
に使用しないでください。
拡散板が割れてしまうおそれ
があります。
拡散板(下面)
毎週 清掃
拡散板の下面にゴミやホコリなどが付
着していた場合、レンズクリーナクロ
スで拭取ってください。
溶剤およびエタノールは絶対
に使用しないでください。
拡散板が割れてしまうおそれ
があります。
注 意
注 意
Fig. 15 吸着ノズル

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11.3 点検 / 清掃 / 給油か所
11.3.3 装着ヘッド
リニアガイド(3か所)
3か月毎 給油
(ダフニーエポネックスグリースNo.1)
新しいグリースをシリンジで塗布して
ください。
給油は、初回1か月後、以降3か月ごと
に行ってください。
使用するノズルはNo.19(茶)
です。
センサにグリスがつかない
よう注意しながらグリスを
塗ってください。
受け皿(3か所)
3か月毎 清掃
油ウエスで受け皿にたまった古いグリース
を拭取ってください。
ノート
No.19
ボールネジ
3か月毎 給油
新しいグリースをシリンジで塗布してくだ
さい。
給油は、初回1か月後、以降3か月ごとに行
ってください。
使用するノズルはNo.19(茶)です。
ノート
No.19
センサ
注 意
Fig. 16 装着ヘッド

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11.3 点検 / 清掃 / 給油か所
真空フィルタ
毎月 点検
真空フィルタ交換治具(付属)で、
真空フィルタを取外し、汚れの状態を
確認してください。
真空フィルタの汚れがひどいときは、
新品と交換してください。
詳細については、“12.真空
フィルタの交換手順”を参照
してください。
Fig. 17