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42 ( 3 ) キャップから 真空 フィルタを 取外 します 。 ノート キャップを 捨 てないでください 。 真空フィルタ キャップ Fig. 21 ( 4 ) キャップに 新 しい 真空 フィルタを 取付 けます 。 ( 5 ) キャップのフック 部分 に 真空 フィルタ 交換治具 を 引 っ 掛 け 、 キャップを 取外 しの 逆 の 要領 で 装着 ヘッドへまっすぐ 押込 みま す 。 ノート キャップは 、 装着 ヘッドへ …
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12. 真空フィルタの交換手順
（1） キャップのフック部分に、真空フィルタ交換治具を引っ掛けま
す。
装着ヘッド
真空フィルタ交換治具
キャップ
Fig. 18
Fig. 19
（2） 真空フィルタ交換治具をまっすぐ下へ引き、キャップを装着ヘッ
ドより引抜きます。
ノート
キャップから、真空フィルタ交換治具が外れないように注意
してください。
装着ヘッド
真空フィルタ
Fig.20
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12. 真空フィルタの交換手順
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(3) キャップから真空フィルタを取外します
。
ノート
キャップを捨てないでください。
真空フィルタ
キャップ
Fig. 21
(4) キャップに新しい真空フィルタを取付けます。
(5) キャップのフック部分に真空フィルタ交換治具を引っ掛け、
キャップを取外しの逆の要領で装着ヘッドへまっすぐ押込みま
す。
ノート
キャップは、装着ヘッドへ押し込めるだけ押込んでください。
(6) キャップのフック部分から、真空フィルタ交換治具を引っ掛け
の逆の要領で平行にズラして、治具を外します。
12. 真空フィルタの交換手順
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13. 消耗部品リスト
1 年以内に消耗する可能性がある部品リストです。
購入される場合は、日立ハイテクノロジーズ営業部門または販売代
理店に連絡して下さい。
Table 7
品名 部品番号 部品名 使用数 推奨数 / 年
ノート (a)
立体分解図 備考
真空フィルタ 630 069 5816 AIR LIN EQPT 3 18 Fig.MT-3
ノート
（a） 推奨数は、参考値です。
（b） 部品の交換方法については、“11. メンテナンスか所”を参照し
てください。
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13. 消耗部品リスト