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1 - 41 Tg 1300 -ID-MT 0607 - 002 4.1 消耗部品の交換と調整 (4) フィルタカバー奥のフランジにフィルタのセンタ穴が入るよう にフィルタをセットします。 フランジ部 Fig.4A59 (5) ふたのセンタのフランジがフィルタのセンタ穴に入るように、 ふたを押さえながらクリップを固定します。 Fig.4A60
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Tg1300-ID-MT
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4.1 消耗部品の交換と調整
4.1.3 ブロアフィルタの交換
作業手順
（1） フィルタカバーのふたを固定しているクリップを取外します。
（4 か所）
クリップ
Fig.4A56
（2）ふたを取外します。
Fig.4A57
(3) フィルタを取外し、フィルタに付いたホコリをエアガン、電気
掃除機で取り除きます。
Fig.4A58
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4.1 消耗部品の交換と調整
(4) フィルタカバー奥のフランジにフィルタのセンタ穴が入るよう
にフィルタをセットします。
フランジ部
Fig.4A59
(5) ふたのセンタのフランジがフィルタのセンタ穴に入るように、
ふたを押さえながらクリップを固定します。
Fig.4A60
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4.2 基板横クランプ調整
4.2 基板横クランプ調整
薄い基板の場合、横押え力が大きいと基板が反ってしまうため適宜
減圧弁により調整してください。
減圧弁は L コンベアの左手前（作業者側）にあります。
減圧弁
Fig.4A61
基板厚に対するエア圧の目安
基板サイズ : 150 ×
100、基板ストッパなしの場合
Table 4A13
基板厚
エア圧
0.5 1.0 1.5 2.0 (mm)
MPa 0.12 0.2 0.3 0.3
(kgf/cm
2
) (1.2) (2.0) (3.0) (3.0)