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1 - 43 Tg 1300 -ID-MT 0703 - 003 4.3 クリーニングペーパー交換方法(クリーニングペーパー幅変更方法) 4.3 クリーニングペーパー交換方法 (クリーニングペーパー幅変更方法) 注意 [ 運転モード / 段取 ] スイッチを“段取”に切替えて作業し ます。 保守担当に定められた人のみが実施してください。 “生産運転”サブメニューバーの [ メンテナンス交換 ] ボタンを押す と、以下の画面が表示されます…

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4.2 基板横クランプ調整
4.2 基板横クランプ調整
薄い基板の場合、横押え力が大きいと基板が反ってしまうため適宜
減圧弁により調整してください。
減圧弁は L コンベアの左手前(作業者側)にあります。
減圧弁
Fig.4A61
基板厚に対するエア圧の目安
基板サイズ : 150 ×
100、基板ストッパなしの場合
Table 4A13
基板厚
エア圧
0.5 1.0 1.5 2.0 (mm)
MPa 0.12 0.2 0.3 0.3
(kgf/cm
2
) (1.2) (2.0) (3.0) (3.0)
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4.3 クリーニングペーパー交換方法(クリーニングペーパー幅変更方法)
4.3 クリーニングペーパー交換方法
(クリーニングペーパー幅変更方法)
注意
[ 運転モード / 段取 ] スイッチを“段取”に切替えて作業し
ます。
保守担当に定められた人のみが実施してください。
“生産運転”サブメニューバーの [ メンテナンス交換 ] ボタンを押す
と、以下の画面が表示されます。
操作手順
(1) [
クリーニング交換 ] タブを押します。
(2) [ 交換位置移動 ] ボタンを押します。
選択すると背景色が青色に変わります。
Fig.4A62
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4.3 クリーニングペーパー交換方法(クリーニングペーパー幅変更方法)
(3) 前面操作パネルの [ 始動 ] ボタンを押します。
基板認識部とスクリーンホルダ部が装置前面側に移動します。
Fig.4A63
(4) 前面操作パネルの [ 運転モード / 段取 ] スイッチを“段取”側
に切替えます。
Fig.4A64
(5) 装置の後面側に移動します。