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2 - 18 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 (02 テーブル Z 軸 ) Table 4B9 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 0201000 テーブル Z 原点 時間内に原点復帰が終了しませんでした。 （要因 1） センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。 （要因 2） センサの不良です。 （要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との…
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B8
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0117000 テーブル X インターロック
テーブルとコンベアの間に基板があります。
（要因 1）搬送エラー後 基板を取り除かずに運転を再開した。
（要因
1） 基板確認センサ（B41）の不良です。
（復帰方法 1）基板を取り除いてから運転を再開してください。
（復帰方法 2） センサがコンベアを検出している場合があります。センサ位置を調整してく
ださい。また、センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。
センサが反応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社
サービスに連絡ください。
0118000 テーブル X タイミング
動作しようとしたときに停止していませんでした。
0119000
テーブル X データ
目的値が装置の可動範囲を超えています。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してきださい。復帰できない場合は、
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0120000 テーブル X 原点
原点復帰未完了
（要因 1）
原点復帰が未完了の状態で、モータ軸を動作しようとしました。
（復帰方法 1） 原点復帰を実行してください。
0121000 テーブル X オーバーラン
オーバーランを検出しました。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度テーブル X 軸の原点復帰をしてください。
（復帰方法 2） センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(02 テーブル Z 軸 ) Table 4B9
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0201000 テーブル Z 原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
( 復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度原点復帰をしてください。
( 復帰方法 2） センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
( 復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0202000 テーブル Z 原点
脱調を検出しました。
（要因 1）
過負荷によりモータが脱調しています。
（復帰方法 1） テーブル Z 軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行してくだ
さい。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
0204000 テーブル Z オーバ－ラン
マイナス（－）オーバーランを検出しました。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度 テーブル X の原点復帰をしてください。
（復帰方法 2） センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0205000 テーブル Z サーボ
サーボアラーム信号が検出されました。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
当社サービスに連絡してください。
0208000 テーブル Z サーボ
ドライバー過熱
（要因 1）
ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0212000 テーブル Z インターロック
基板認識
X 軸が原点位置にありません。
（要因 1） 基板認識 X 軸原点センサ（B351）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B10
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0214000 テーブル Z インターロック
テーブル
X 軸がインターロック範囲内に接近しました。
（要因 1） テーブル X 軸インターロックセンサ（B4E、B4F）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0217000 テーブル Z インターロック
テーブルθ軸のマイナス（-）オーバーランを検出しました。
（要因 1）
テーブルθ軸オーバーラン（－）センサ（B213）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） 手動動作実行時にこのエラーが出た場合は、装置異常ではありません。
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開して下さい。再発する場合には
当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
0218000 テーブル Z インターロック
基板認識
Y 軸がセーフティエリアにありません。
（要因 1） 基板認識 Y 軸インターロックセンサ（B46）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） 基板認識 Y 軸が後方退避位置にない状態でテーブル Z 軸を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
0219000 テーブル Z タイミング
動作しようとしたときに停止していませんでした。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0220000 テーブル Z データ
目的値が装置の可動範囲を超えています。
（要因 1）
指定データが範囲を越えている可能性があります。
（復帰方法 1） スクリーンディスタンス（パターンプログラム）、スクリーンギャップ、基
板搬送高さ（オフセットデータ）の値を確認して下さい。