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2 - 21 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 (03 テーブル θ 軸 ) Table 4B12 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 0301000 テーブル θ 原点 時間内に原点復帰が終了しませんでした。 （要因 1） センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。 （要因 2） センサの不良です。 （要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU と…
2-20
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B11
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0221000 テーブル Z 原点
原点復帰未完了
（要因 1）
原点復帰が未完了の状態で、モータ軸を動作しようとしました。
（復帰方法 1） 原点復帰を実行してください。
0226000 テーブル Z オーバーラン
オーバランを検出しました。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度 テーブル Z 軸の原点復帰をしてください。
（復帰方法 2）センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(03 テーブル
θ
軸 ) Table 4B12
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0301000
テーブル
θ
原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1） センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
( 復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度 テーブルθの原点復帰をしてください。
( 復帰方法 2） センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
( 復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0302000
テーブル
θ
原点
脱調を検出しました。
( 要因 1） 過負荷によりモータが脱調しています。
( 復帰方法 1） テーブル
θ
軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行してく
ださい。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
0304000
テーブル
θ
オーバ－ラン
マイナス ( － ) オーバーランを検出しました。
（要因 1） センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
( 復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度 テーブル X の原点復帰をしてください。
( 復帰方法 2） センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
( 復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0305000
テーブル
θ
サーボ
サーボアラーム信号が検出されました。
0308000
テーブル
θ
サーボ
ドライバー過熱
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
当社サービスに連絡してください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B13
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0311000
テーブル
θ
インターロック
テーブル X 軸のインターロック信号がオフです。
（要因 1） テーブル X 軸インターロックセンサ（B4E、B4F）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） テーブル X 軸が左右に寄っている状態でテーブル
θ
軸を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3）
全原点復帰後操作を再開してください。
0312000
テーブル
θ
インターロック
基板ストッパーが降下しています。
（要因 1） 基板ストッパー上限センサ（B68）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） 基板ストッパーが下降している状態でテーブル
θ
軸を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
0313000
テーブル
θ
インターロック
テーブル Z 軸がセーフティエリアにありません。
（要因 1） テーブル Z 軸インターロックセンサ（B40）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） テーブル Z 軸が上昇している状態でテーブル
θ
軸を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
0314000
テーブル
θ
インターロック
基板反り上押さえが下降しています。
（要因 1） 動作タイミングがずれています。
（要因 2） 基板反り上押さえが下降している状態でテーブル
θ
軸を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 2） 全原点復帰後操作を再開してください。