4OM-1321-006_w - 第163页
2 - 29 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 Table 4B20 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 0611000 基板認識カメラ X インターロック 基板ストッパーが降下しています。 （要因 1） 基板ストッパーが下降している状態で、 基板認識 X 軸を動作させようとしました。 （要因 2） 基板ストッパー上限（B70）の不良です。 （復帰方法 1） 基板…
2-28
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(06 基板認識カメラ X 軸 ) Table 4B19
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0601000 基板認識カメラ X 原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度基板認識カメラ X 軸の原点復帰をしてくださ
い。
（復帰方法 2）
センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0602000 基板認識カメラ X 原点
脱調を検出しました。
（要因 1）
過負荷によりモータが脱調しています。
（復帰方法 1） 基板認識 X 軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行してくだ
さい。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
0604000 基板認識カメラ X オーバ－ラン
マイナス（－）オーバーランを検出しました。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度 テーブル X の原点復帰をしてください。
（復帰方法 2） センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0605000 基板認識カメラ X サーボ
サーボアラーム信号が検出されました。
0608000
基板認識カメラ X サーボ
ドライバー過熱
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
当社サービスに連絡してください。
0610000 基板認識カメラ X インターロック
テーブル
Z 軸が原点にありません。
（要因 1） テーブル Z 軸原点センサ（B171）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） テーブル Z 軸が上昇している状態で、基板認識 X 軸を動作しようとしました。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
2-29
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B20
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0611000 基板認識カメラ X インターロック
基板ストッパーが降下しています。
（要因 1）
基板ストッパーが下降している状態で、基板認識 X 軸を動作させようとしました。
（要因 2） 基板ストッパー上限（B70）の不良です。
（復帰方法 1） 基板ストッパーを上昇させてから操作を再開してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。復帰できな
い場合には、センサ交換が必要ですので、当社サービスに連絡ください。
0612000 基板認識カメラ X インターロック
基板反り上押さえが下降しています。
（要因 1）
基板反り押さえが下降している状態で、基板認識 X 軸を動作させようとしました。
（復帰方法 1） 基板反り押さえを上昇させてから操作を再開してください。
0613000 基板認識カメラ X インターロック
クリーニングノズルが上昇しています。
（要因 1）
クリーニングノズル下限センサ（B81）の不良です。
（要因 2） 動作タイミングがずれています。
（要因 3） クリーニングノズルが上昇している状態で基板認識 X 軸を動作しようとした。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
0615000 基板認識カメラ X タイミング
動作しようとしたときに停止していませんでした。
0616000
基板認識カメラ X データ
目的値が装置の可動範囲を超えています。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
0617000 基板認識カメラ X 原点
原点復帰未完了
（要因 1）
原点復帰が未完了の状態で、モータ軸を動作しようとしました。
（復帰方法 1） 原点復帰を実行してください。
2-30
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(07 基板認識カメラ Y 軸 ) Table 4B21
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
0701000 基板認識カメラ Y 原点
時間内に原点復帰が終了しませんでした。
（要因 1）
センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） センサの不良です。
（要因 3） ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度基板認識 Y 軸の原点復帰をしてください。
（復帰方法 2） センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
0702000 基板認識カメラ Y 原点
脱調を検出しました。
（要因 1）
過負荷によりモータが脱調しています。
（復帰方法 1） 基板認識 Y 軸付近に障害物がないか確認してから、原点復帰を実行してくだ
さい。復帰しない場合には、当社サービスへ連絡してください。
0705000 基板認識カメラ Y サーボ
サーボアラーム信号が検出されました。
0708000
基板認識カメラ Y サーボ
ドライバー過熱
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。復帰できない場合は、
当社サービスに連絡してください。
0710000 基板認識カメラ Y インターロック
テーブル
Z 軸が原点にありません。
（要因 1） テーブル Z 軸原点センサ（B171）の不良です。
（要因 2）動作タイミングがずれています。
（要因 3） テーブル Z 軸が上昇している状態で、基板認識 Y 軸を動作しようとしました。
（手動動作実行時）
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 2）
一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 全原点復帰後操作を再開してください。
0711000 基板認識カメラ Y インターロック
基板ストッパーが降下しています。
（要因 1）
基板ストッパーが下降している状態で、基板認識 Y 軸を動作させようとしました。
（要因 2） 基板ストッパー上限（B70）の不良です。
（復帰方法 1） 基板ストッパーを上昇させてから操作を再開してください。
（復帰方法 2） センサ位置を調整してください。復帰できない場合には、センサ交換が必要
ですので、当社サービスに連絡ください。