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2 - 41 Tg 1300 -ID-MT 2.2 異常表示からのトラブルシューティング 0607 - 002 Table 4B32 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 1307000 基板移載 タイムオーバー 排出側コンベアからの基板移載が所定時間内に終了しませんでした。 （要因 1） 基板通過確認センサ（B45）が遮光、通光していません。 （復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが…
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
(13 基板移載 ) Table 4B31
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1301000 基板供給
基板検出後に前工程のワーク搬送信号が切れませんでした。
1302000 基板供給
基板検出前に前工程のワーク搬送信号が切れました。
（要因 1）
前工程との通信が合っていません。
（復帰方法 1） “原点・前後工程情報”タブで前工程からのワーク搬送信号を確認してくだ
さい。問題が解決しない場合には当社サービスに連絡ください。
1303000 供給側コンベア タイムオーバー
前工程からの基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。
（要因 1）
タイマー設定値が短すぎる。
（要因 2） コンベア速度が遅すぎる。
（要因 3） 基板検出センサ（B41）が反応しない。
（復帰方法 1） “前後工程モード”タブで、“タイマー設定 （秒）”の“排出コンベア”の設
定値を大きくしてください。
（復帰方法 2）
L コンベアスピードコントロールのボリュームを上げてください。
（復帰方法 3） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。
1304000 排出側コンベア タイムオーバー
後工程への基板排出が所定時間内に終了できませんでした。
（要因 1）
タイマー設定値が短かすぎる。
（要因 2） 後工程との通信が合っていません。
（復帰方法 1） “前後工程モード”タブで、“タイマー設定 （秒）”の“排出コンベア”の設
定値を大きくしてください。
（復帰方法 2）
当社サービスに連絡ください。
1305000 基板移載 タイムオーバー
供給側コンベアからの基板移載が所定時間内に終了しませんでした。
（要因 1）
コンベア速度が遅すぎる。
（要因 2） 基板検出センサ（B71）が反応しない
（復帰方法 1） L コンベアスピードコントロールのボリュームを上げてください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。
1306000 基板移載 タイムオーバー
排出側コンベアへの基板移載が所定時間内に終了しませんでした。
（要因
1） 基板到達確認センサ（B44）が反応しない
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。
2-41
Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B32
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1307000 基板移載 タイムオーバー
排出側コンベアからの基板移載が所定時間内に終了しませんでした。
（要因 1）
基板通過確認センサ（B45）が遮光、通光していません。
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。
1308000 基板移載 タイムオーバー
供給側コンベアへの基板移載が所定時間内に終了しませんでした。
（要因 1）
基板検出センサ（B41）が遮光、通光していません。
（要因 2） コンベア速度が遅すぎる。
（復帰方法 1） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサ位置の調整もしくは交換が必要になります。当
社サービスに連絡ください。
（復帰方法 2）
L コンベアスピードコントロールのボリュームを上げてください。
1309000 供給側コンベア インターロック
基板バックアップ軸上昇中にコンベア搬送しようとしました。
1310000 排出側コンベア インターロック
基板バックアップ軸上昇中にコンベア搬送しようとしました。
（要因 1）
バックアップ軸ニア原点センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
（要因 2） バックアップ軸ニア原点センサの不良です。
（要因 3） バックアップ軸ドライバの不調もしくは、ホスト CPU との通信不良
（復帰方法 1） センサの汚れを拭き取り、再度基板バックアップ軸の原点復帰をしてくださ
い。
（復帰方法 2）
センサの交換が必要になりますので、当社サービスに連絡ください。
（復帰方法 3） 一度、装置電源を遮断し再起動後、原点復帰をしてください。この作業でも
復帰しない場合はドライバの不良が考えられますので、当社サービスへ連絡
してください。
1312000 基板移載 インターロック
供給側コンベアモーターが動作中でした。
1313000 基板移載 インターロック
排出側コンベアモーターが動作中でした。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
1314000 基板移載 インターロック
テーブル上に基板が 2
枚あります。
（要因 1） 基板が 2 枚重なった状態で移載されました。
（要因 2） 基板が 2 枚連続して移載されました。
（要因 3） 基板 2 枚検出センサ（B6A）部調整がずれています。
（復帰方法 1） 基板を取り除き、運転を再開してください。
（復帰方法 2） 基板を取り除き、運転を再開してください。
（復帰方法 3） 当社サービスへ連絡ください。
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Tg1300-ID-MT
2.2 異常表示からのトラブルシューティング
0607-002
Table 4B33
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
1315000 テーブル部ストッパー インターロック
基板認識 X
軸が動作中でした。
1316000 テーブル部ストッパー インターロック
基板認識 Y
軸が動作中でした。
（要因 1） 装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
1317000 テーブル部ストッパー インターロック
テーブル上に基板があります。
（要因 1）
テーブル上に基板がある状態で、ストッパーが下降しようとした。
（手動動作実行時）
（要因 2） 基板確認センサ（B69）の不良です。
（復帰方法 1） 基板を取り除いてから再操作してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
1318000 コンベアストッパー インターロック
排出側コンベアモーターが動作中でした。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
1319000 コンベアストッパー インターロック
排出側コンベア上に不適切な基板があります。
（要因 1）
排出側コンベア上に基板が残っています。
（要因 2） 基板到達確認、通過確認センサ（B44、B45）の不良です。
（復帰方法 1） 基板を取り除いてから再操作してください。
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
1320000 テーブル部ストッパー
基板ストッパーが正常に動作しませんでした。
（要因 1）
上限センサ（B70）の位置がずれています。
（要因 2） 上限センサの不良です。
（要因 3） ストッパーシリンダの動作不良です。
（復帰方法 1） センサ位置を再調整してください。
（別紙参照）
（復帰方法 2） センサの動作を“装置診断”サブメニューで確認してください。センサが反
応していない場合は、センサの交換が必要になりますので、当社サービスに
連絡ください。
（復帰方法 3）
当社サービスに連絡ください。