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2 - 68 Tg 1300 -ID-MT 0607 - 002 2.2 異常表示からのトラブルシューティング (22 その他 ) Table 4B58 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 2201000 真空ポンプ 時間内に真空スイッチが入りませんでした。 （要因 1） 吸着治具を使用していない。 （要因 2） 真空もれ （要因 3） 真空 SW の不良 （復帰方法 1） 吸着治具を使用していない場合は、パターンプログラムで…
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2.2 異常表示からのトラブルシューティング
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Table 4B57
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
2121000 操作ミス
印刷されていない基板を排出しようとしました。
（要因 1）
エラー復帰後の生産運転動作で、未印刷の基板を排出しようとしました。
（復帰方法 1） テーブル上の未印刷基板を取り除いて、再操作してください。必要に応じて
生産運転画面のテーブル部の絵表示をクリックして装置メモリから基板を除
去する処理を行ってください。
2122000 操作ミス
スクリーンがありません。
（要因 1）
スクリーンクランプ解除確認センサ（B6F）が OFF です。
（復帰方法 1） スクリーンをセットしてから再操作してください。スクリーンをセットして
いるにも関わらずこのエラーが発生する場合には、センサ位置の調整、交換
が必要です。当社サービスに連絡ください。
2123000 操作ミス
基準座標が設定されていません。
（要因 1）
装置の自己診断によるメッセージです。
（復帰方法 1） ティーチング動作を最初からやり直してください。
2124000 操作ミス
スクリーンが外されていません。
（要因 1）
スクリーンクランプ解除確認センサ（B6F）が ON です。
（復帰方法 1） スクリーンを外してから再操作してください。スクリーンを外しているにも
関わらずこのエラーが発生する場合には、センサ位置の調整、交換が必要で
す。当社サービスに連絡ください。
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2.2 異常表示からのトラブルシューティング
(22 その他 ) Table 4B58
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
2201000 真空ポンプ
時間内に真空スイッチが入りませんでした。
（要因 1）
吸着治具を使用していない。
（要因 2） 真空もれ
（要因 3） 真空 SW の不良
（復帰方法 1） 吸着治具を使用していない場合は、パターンプログラムでバックアップ治具
を指定してください。
（復帰方法 2）
基板と吸着治具の間で真空もれが発生していないか確認してください。
（復帰方法 3） 真空 SW の設定不良もしくは真空 SW 本体の不良が考えられます。当社サービ
スに連絡ください。
2202000 真空ポンプ
クリーニング吸引側切替タイムオーバー OFF
（要因
1） 吸引切替えシリンダの動作不良もしくはシリンダセンサの不良が考えられます。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
2203000 真空ポンプ
チャック吸引側切替タイムオーバー OFF
（要因
1） 吸引切替えシリンダの動作不良もしくはシリンダセンサの不良が考えられます。
（復帰方法 1） 一度、装置電源を遮断し再起動後運転を再開してください。再発する場合に
は当社サービスに連絡ください。
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