NPM-GH_z_中文规格书 - 第159页
NPM- GH 20 23 .0 710 - 153 - 13. 尺寸图 ( 单位 : mm) ■ 交换台 车 ( ITF 站 ) 连接时 Remarks • 上述示图的缩小比例与 实际机器在严 格上讲，并不完全 一致。 在研讨生产线构成和尺 寸时，请另行 索取资料。 • 本机下部如有设置通风 道等时，请确 保与主体间空隙 保持 40 mm 以上。 ( 传送带长 ) ( 罩外形 ) 基板传送基准 （前轨） 基板传送基准 （后…
NPM-GH 2023.0710
- 152 -
12.2
空气投入部
后 侧
30PM
(NITTO KOHKI)
30SM
(NITTO KOHKI)
工厂侧管道连接
直径
: Rc3/8
气压软管
(选购项)
附属于设备
客户准备
NPM-GH 2023.0710
- 153 -
13.
尺寸图
(单位: mm)
■ 交换台车(ITF站)连接时
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
(传送带长)
(罩外形)
基板传送基准
（前轨）
基板传送基准
（后轨）
基板传送高度
NPM-GH 2023.0710
- 154 -
(
单位
: mm)
■
单式托盘供料器连接时
（前侧的供给部未插入台车时）
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
基板传送高度
基板传送基准
（前轨）
基板传送基准
（后轨）
(传送带长)
(罩外形)